干式超聲波清洗技術是一種高速氣流與超聲波共同作用，對超精密待清洗件（如半導體器件，玻璃或硅基板等）亞微米級別的污染物進行清洗的新型的超聲波清洗機之干式清洗技術。一般包括三大系統：
空氣循環系統；
清洗件傳送系統；
超聲清洗頭。
空氣循環系統利用負壓作用將新空氣不斷吸入并凈化后輸入清洗頭壓力腔，同時利用離心力將內部空氣不斷送出；清洗件傳送系統將待清洗件傳送給超聲波清洗頭。

核心部件超聲波清洗頭主要有兩類：一類空氣流經特殊設計的變截面流道時，經激流震蕩生成超聲波，但這種超聲波的強度弱，傳遞能量少。另一類內置超聲波增幅器，超聲波空氣在大小約 0.3mm 的出口處體積迅速膨脹，達到一種“微型爆炸”的效果。高速氣流和超聲波的共同作用使污物微粒脫離懸浮，超聲波的反射作用將微粒帶動起來，由清洗頭的真空吸附腔吸走并分離，這種清洗方式杜絕清洗劑對環境造成污染。

干式超聲波清洗機清洗特點：

1、3μm及以上的非濕粘附性粉塵能90-100去除。
2、干式清洗不需要更換換水或藥液，洗后不用干燥，降低運行成本。
3、非接觸式系統不會污染基板及損傷基板表面膜。
4、由於清洗機是閉環循環系統，不會污染潔凈房。

應用領域：

1、在制藥工業的應用
超聲波清洗技術經過眾多制藥企業的應用而得到廣泛使用，特別是對西林瓶、口服液瓶、安瓶、大輸液瓶的清洗以及對丁基膠塞、天然膠塞的清洗方面，已經得到首肯。對于瓶類的清洗，是用超聲波清洗技術代替原有的毛刷機，它經過翻轉注水、超聲清洗、內外沖洗、空氣吹干、翻轉等流程而實現的。

2、在微粉業的應用
*，要取得不同大小的顆粒，是把破碎料放在球磨機內研磨后，經過不同規格篩子層層篩分而得的。篩子長時間使用后，篩孔會被堵塞(如金剛石篩)，用其它方法刷洗會破壞篩子，且效果不理想，經過眾多廠家的試驗后，用超聲波清洗，不僅不損壞篩子，而且篩子上面的堵塞顆粒*被回收。

3、技術在磷化處理中的應用
產品噴涂前處理工藝非常重要，一般的傳統工藝使用酸液對工件進行處理，對環境污染較重，工作環境較差，同時，大的弊端是結構復雜零件酸洗除銹后的殘酸很難沖洗干凈。工件噴涂后，時間不長，沿著夾縫出現銹蝕現象，破壞涂層表面，嚴重影響產品外觀和內在質量。超聲波清洗技術應用到涂裝前處理后，不僅能使物體表面和縫隙中的污垢迅速剝落，而且涂裝件噴涂層牢固不會返銹。

4、干式超聲波清洗機對金屬的清洗
*，金屬棒材經擠壓成絲后，金屬絲的外部往往有一層碳化膜和油，用酸清洗或其它清洗方法，很難讓污物去除(尤其整盤絲)，超聲波洗絲機是根據實際生產需要而設計的一種連續走絲，高效清洗設備，粗洗部分由清洗液儲槽、換能器、循環泵、過濾器及配套管道系統組成，金屬絲經超聲波粗洗精洗后，再經過吹干，從而完成整個清洗過程。整套設備集成控制，簡潔、方便、效果好，廣泛用于鉭絲、鎢絲、鉬絲、鈮絲、銅絲(絕緣漆涂覆前)等其它金屬絲。