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【DiaMiner培育鉆石設備】DM-8000微波等離子體CVD設備

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更新時間：2023-03-09 12:31:05瀏覽次數：494次

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成都沃特塞恩電子技術有限公司

經營模式：生產廠家

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產品簡介

【DiaMiner培育鉆石設備】DM-8000微波等離子體CVD設備

詳細介紹

技術參數

（1）	型號	DM-8000
（2）	電源	AC380 V 三相五線制 50Hz，
（3）	微波輸出功率	8kW ，2450MHz點頻
（4）	微波泄露	≤2mW/cm3@5cm
（5）	功率穩定度	1 %（@穩態）
（6）	有效沉積區域	up to Φ 70 mm
（7）	樣品臺直徑	Φ120 mm
（8）	極限真空度	≤5 ×1 0-1 P a
（9）	真空漏率	＜1x10-9Pa.m3/s
（10）	單晶生長	生長速度10-15μm/H，單輪生長厚度≥1.6mm
（11）	單晶質量	色度H，肉眼無瑕疵
（12）	氣體種類	標配四路MFC：H2:1000sccm，CH4:100sccm，O2:10sccm，N2:5sccm；可擴展為5路
（13）	壓強控制范圍	5-255 torr
（14）	壓強控制精度	±0 . 1 T o r r
（15）	冷卻水	＞65L/Min