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成都沃特塞恩電子技術有限公司


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【DiaMiner培育鉆石設備】DM-8000微波等離子體CVD設備

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更新時間:2023-03-09 12:31:05瀏覽次數:494次

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經營模式:生產廠家

商鋪產品:47條

所在地區:四川成都市

聯系人:宛女士 (市場專員)

產品簡介

【DiaMiner培育鉆石設備】DM-8000微波等離子體CVD設備

詳細介紹

技術參數
(1)型號DM-8000
(2)電源AC380 V 三相五線制 50Hz,
(3)微波輸出功率8kW ,2450MHz點頻
(4)微波泄露≤2mW/cm3@5cm
(5)功率穩定度1 %(@穩態)
(6)有效沉積區域up to Φ 70 mm
(7)樣品臺直徑Φ120 mm
(8)極限真空度≤5 ×1 0-1 P a
(9)真空漏率<1x10-9Pa.m3/s
(10)單晶生長生長速度10-15μm/H,單輪生長厚度≥1.6mm
(11)單晶質量
色度H,肉眼無瑕疵
(12)氣體種類標配四路MFC:H2:1000sccm,CH4:100sccm,O2:10sccm,N2:5sccm;可擴展為5路
(13)壓強控制范圍5-255 torr
(14)壓強控制精度±0 . 1 T o r r
(15)冷卻水>65L/Min


了解產品更多詳細參數請聯系我司銷售!

應用范圍

適合光學、電子、工具級金剛石膜或單晶、石墨烯等的沉積,材質表面處理、低溫氧化物的生長等。


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