產品簡介：

Harrick Plasma是國際的等離子清洗器生產商，在業內已經有三十多年的經驗。他所生產的小型等離子清洗器結構緊湊、質量可靠、價格合理；廣泛地被大中院校、科研機構、企業研發機構和實驗室采用。其產品主要應用在材料科學、高分子科學、生物醫藥材料學、微流體研究、微電子機械系統研究、光學、顯微術、牙科醫療等領域中的污染物清除、表面活化、粘合前處理、表面化學改性、聚合物移植或表面涂覆等方面。該產品能處理塑料、生化材料、PDMS、玻璃或金屬半導體、陶瓷、復合材料、高分子聚合物等材料，并對所處理的材料表面帶來表面超潔凈、殺菌、提高濕潤性轉變、表面性質改變、提高結合力等處理效果。

基本參數：

主要特征：
臺式設計，結構緊湊精致
低、中、高三檔可調節功率，可為18W
設備輻射小，安全環保

外形尺寸：8.5"H x 10"W x 8"D（215mm x 254mm x 203mm）

重量：6.0kg

輸入電源： 220 V／50Hz

輸入功率： 100 W

功率檔：
低檔680V DC、10mA DC、6.8W
中檔700V DC、15mA DC、10.5W
高檔720V DC、25mA DC、18W

常用工作氣體：
空氣、氬氣、氮氣或混合氣體等

基本配置：
直徑3英寸，長6.5英寸的耐熱玻璃艙體。
可拆卸艙蓋。
為18W的RF線圈。
1/8英寸NPT針閥
1/8英寸NPT三通閥

選配件：
石英等離子清洗艙
石英托盤（用于放置樣品）
氣體計量混合器Plasma FloTM

周邊設備：
基本型專用真空泵（PDC-VPE-2）

可選件：

選件一：氣體計量混合器PlasmaFloTM

功能及配置簡介：
1、Harrick PlasmaFloTM氣體計量混合器是一臺可任選的以滿足客戶的不同需求的備件。主要應用于樣品的表面改性。
2、在等離子清洗過程中氣體流混合和壓力監視。
3、為向艙內注入兩種氣體提供了可能。
4、含兩個標準的氣體流量計(1.0 SCFH & 2.0 SCFH)
5、溫差電偶真空度表測量艙內壓力
6、適用氣體：空氣、氮氣、氬氣或混合氣體。
7、尺寸：8 1/2"H x 10"W x 8"D
8、訂貨號：PDC-FMG-2

選件二：真空泵
Harrick等離子清洗需要使用最小1.4 m3/hr (0.83 cfm)，壓力為200 mTorr (0.27 mbar)的真空泵。Harrick 提供兩種可選型號：
1、PDC-VP-2 (220V)
抽真空速度(50/60 Hz): 3.2/3.6 m3/hr
極限壓力(氣鎮關)：1.5 mTorr
極限壓力(氣鎮開)：23 mTorr
電機功率：(50/60 Hz): 250/300 W
重量: 34 lbs
尺寸: 9"H x 15"W x 5"D
2、PDC-VPE-2 (220V) 抽真空速度(50/60 Hz): 5.1 m3/hr
極限壓力(氣鎮關): 7.5 mTorr
極限壓力(氣鎮開: 150 mTorr
電機功率(50/60 Hz): 373 W
重量: 27 lbs
尺寸: 9 3/4"H x 14"W x 5 1/2 D"

選件三：石英等離子清洗艙及托盤