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江蘇康玉環保科技有限公司
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閱讀：115發布時間：2023-9-6
造紙廠廢氣處理設備之半導體廢氣處理
隨著信息時代的到來，半導體產業也在快速發展。半導體制造商給社會帶來的經濟效益和就業率是顯而易見的，但隨之而來的是空氣污染。因為半導體行業需要清潔操作室。要求，通常采用風機提取過程中揮發性的各種廢氣，因此半導體行業的廢氣排放具有排放量大、排放濃度小的特點。
主要成分：半導體工業廢氣主要為4種有機廢氣和酸堿廢氣。有機物有：非甲烷總烴、氮氧化物、二氧化硫等；酸堿有：氨硫酸霧、氟化物、氯化物、氯等。主要來源：半導體行業造成環境污染的有害氣體主要來自芯片或電路板生產的清潔、均膠、去膠、蝕刻和顯影過程。主要危害：半導體行業主要是由于使用了一些化學物質（如硫酸、鹽酸、氟氯化碳、、三氯、乙烷等化學物質。和其他有機鹵化物)揮發對大氣環境造成污染，機械噪聲和整機裝配過程中產生的少量粉塵也會造成環境污染，導致慢性或急性中毒。
工作原理：待處理的有機混合廢氣通過引風機作用，先通過預處理過濾裝置去除廢氣中的灰塵和雜質，否則直接吸附會堵塞沸石的微縮孔，從而影響吸附效果。初步過濾后，相對純凈的有機廢氣進入沸石輪吸附裝置進行吸附凈化處理，有機物被轉輪沸石的力攔截，清潔氣體排出。沸石轉輪脫附的高濃度廢氣直接進入TO直燃焚燒爐進行焚燒凈化處理。
廢氣焚燒后，爐內燃燒室的高溫氣體和內部熱交換器進行熱交換制在300-350℃左右進入燃燒室燃燒，燃燒后，內部熱交換器冷卻后進入尾部二次煙氣余熱利用裝置，d級余熱利用裝置用于脫附，加熱后的清潔氣體進入轉輪脫附區，沸石中的有機物在熱空氣加熱后從沸石中揮發，此時脫附廢氣濃度高，風量小，高溫有機廢氣進入二次煙氣余熱利用裝置，二次提高廢氣溫度，進入TO焚燒爐焚燒處理，再次降低TO焚燒爐焚燒的運行成本。實現真正的節能和環保。同時，整個設備安裝q，可靠，無二次污染。
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