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詳細(xì)介紹
Osaka干式螺桿真空泵，*無油運作，適用于大多數(shù)潔凈制程；體積小以及操作簡單。
特點
排氣速度：50L⁄min、230L⁄min、500L⁄min 3種產(chǎn)品
極限壓力：DSP50：20Pa、DSP250 ⁄ 500：0.5Pa
潔凈排氣：沒有油蒸氣，粒子的逆流
無潤滑油：無同步齒輪，也不需要潤滑油
攜帶方便：小型，輕量，抗外部干擾
干式螺桿真空泵空冷規(guī)格
初期排氣時間短，大氣壓附近排氣速度快
低消費電力設(shè)計
應(yīng)用
SEM，光刻
醫(yī)療設(shè)備
裝載室，搬送室排氣
分析儀器
加速器，離子源，電子槍的排氣
一般產(chǎn)業(yè)
PVD或R&D
技術(shù)規(guī)格
| 型號 | DSP50 | DSP250 | DSP500 | |
| 排氣速度（L/min） | 大 | 50 | 230 | 500 |
| 氣鎮(zhèn)開啟 | 36 | 200 | 430 | |
| 極限壓力（Pa） | 通常 | 20 | 0.5 | |
| 氣鎮(zhèn)開啟時 | 200 | 2 | ||
| 法蘭連接 | 進氣口 | KF16 | KF25 | KF40 |
| 排氣口 | RC1 | KF25 | ||
| 電源 | 電壓（V） | 100-240 | 100-230 | |
| 頻率（Hz） | 50/60 | |||
| 相數(shù) | 單相 | |||
| 容許電壓精度 | ±10% | |||
| 功率（W） | 極限壓力時 | 230 | 240 | 270 |
| 大 | 380 | 600 | ||
| 冷卻方式 | 空冷 | |||
| 重量（Kg） | 9 | 15 | 20 | |
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