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Park NX15原子力顯微鏡

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品       牌

廠商性質其他

所  在  地上海市

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更新時間:2024-03-14 18:29:42瀏覽次數:194次

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產品簡介

簡要描述:Park NX15原子力顯微鏡不僅非常適合共享實驗室里的研究人員處理各種樣品、進行多變量實驗,也同樣適合故障分析工程師處理晶圓的系統性工作。

詳細介紹

Park NX15原子力顯微鏡不僅非常適合共享實驗室里的研究人員處理各種樣品、進行多變量實驗,也同樣適合故障分析工程師處理晶圓的系統性工作。

便捷的樣品測量(包含多樣品掃描)

 一次可對多個樣品自動成像

 設計的多樣本卡盤,一次至多可裝載9個單獨樣品(可選)

 全電動XY樣品臺行程可達 150 mm x 150 mm

通過消除掃描器串擾進行精準的XY掃描

 獨立閉環XY和Z柔性掃描器

 正交XY掃描

 無需軟件處理即可保留真實可信的樣品表面形貌信息

真正非接觸模式實現探針使用壽命、成像分辨率和樣品的有效保護

 快速的Z伺服速度,實現真正的非接觸模式

 針尖磨損微小化,可實現長時間的高質量和高分辨率成像

多種模式和選項

 全面性的測量模式和表征方法

 可實現可選配件和升級擴展功能

 用于故障分析(FA)的精密電學測量

Park NX15原子力顯微鏡 參數

掃描器

Z掃描器

柔性引導高推動力掃描器

Z掃描范圍:15μm(30 μm可選)

XY掃描器

閉環控制式單模塊柔性XY掃描器

掃描范圍:100μmx 100μm

光學

帶視覺相機的同軸光學系統

物鏡:10x放大

視場:

480 μm X 360 μm(默認 120 萬像素視覺相機)

840 μm X 630 μm( 默認 500 萬像素視覺相機)

電路系統

信號處理

ADC: 用于 X,Y和Z 掃描器位置傳感器的 24 位 ADC

DAC: 用于 X,Y和Z 掃描器定位的 20 位 DAC

樣品臺

Z位移臺行程范圍:25.5 mm

XY位移臺行程范圍:150 mm X 150mm

樣品大小:可滿足150 mm wafer 樣品




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