水冷板-真空箱氦檢漏回收系統
回收系統部分
真空箱部分本設備適用對水冷板(以下簡稱工件)進行干式檢漏。主要具有以下功能：
對被檢工件抽真空保壓檢大漏；
對被檢工件充注氦氣；
真空箱法氦質譜檢測，自動判斷工件漏率合格與不合格；
回收并循環使用氦氣；
PLC控制，觸摸屏操作，自動檢測。
系統技術參數
檢測漏率：5×10-8Pa.m3/S；
真空箱工作節拍：180S/兩箱，每箱放2件，含人工操作時間20s；
檢漏儀開檢(真空箱內)壓力：≤20pa；
氦氣回收率：≧98%；
工件抽空真空度：≤1000pa；
環保在線