A600氟油檢漏儀由A601型氦氣氟油加壓儀和A603重氟油加熱儀組成是專門針對半導體器件、集成電路、電子產品等電子元器件進行細檢和粗檢的一套自動化檢漏裝置。該裝置上裝備有PLC，對整個檢漏過程可以進行自動控制和運行，可有效防止誤操作和提高檢漏效率。而且在該設備的氮氣罐上裝有光電檢測設備，可隨時監測氮氣罐內的油位。自動化程度高，具有高可靠性。它與氦質譜檢漏儀和重氟油加熱儀配合使用，能夠完成GJB360A-96、GJB548-96A和GJB128A-97標準中規定的對電子和半導體器件的精檢漏和粗檢漏要求。

特點

1. 氟油箱部分根據需求設計，采用優質不銹鋼材料加工.

2. 人性化設計，操作界面，精巧，簡潔，易于操作。外形小巧，采用啞光內外噴涂,增加油箱內的對比度，使得零件更加清晰。

3. 加熱部分采用蛇形加熱器，底部加熱并以銅的材料配合使用，受熱更加均勻，升溫速度快。

4. 頂部漏油設計與氟油箱連接，使操作臺面干凈，整潔。

5. 燈光采用大口徑LED 射燈，使氟油箱光線柔和充足，對檢測元件更加利于觀察。

6. 觀察窗口采用優質耐高溫玻璃，窗口范圍加大設計，視野更寬。

7. 增加了放大功能，采用長方形外形更加適于觀察，利用萬向節的設計，可任意調節角度及方向。

   性能指標

（1）壓力＜1.0MPa，可抽真空至50Pa

（2）壓力罐：Φ260mm*250mm

（3）真空度：＜100Pa

（4）保壓時間：1-10h，可調

（5）充氦壓力：0.2-0.6Mpa ,可調

（6）加熱溫度（可自動恒溫）：125℃±5℃，從室溫加熱至125℃≤30min。