特色
Load Lock Chamber樣品預(yù)載腔體
鋼中擴散氫的低溫TDS測量
定量脫附的氣體
高周波加熱式熱脫附質(zhì)譜儀IH-TDS1700是在超高真空中通過電磁感應(yīng)加熱樣品，以四極質(zhì)譜儀（QMS）實時觀察從樣品中熱脫附(熱吸解)氣體分子。樣品在超高真空，背景低環(huán)境下，大幅抑制大氣和產(chǎn)生的氣體引起的副反應(yīng)的影響，大幅提測量高靈敏度，在理想條件下觀察從樣品中脫附的分子。加熱效率高的金屬樣品可加熱到1700°C以上。此外，還可以對鋼中的擴散氫進(jìn)行低溫TDS測量，這是鋼材氫脆的一個因素。
Load Lock Chamber樣品預(yù)載腔體是實現(xiàn)高靈敏度、高效率(高通量)測量的關(guān)鍵技術(shù)。我們的傳送腔體和樣品轉(zhuǎn)移機制，可以在超高真空下僅將樣品快速插入分析室。如果沒有預(yù)載腔體，則每次更換樣品時都必須將分析室暴露在大氣之下。分析室暴露于大氣之下會吸入大量空氣(主要是水)，需要長時間抽真空才能恢復(fù)到合適的真空度。
IH-TDS1700可測量冷卻的鋼樣品，在低溫下擴散氫而不會逸出，因此可以高精度量測氫擴散系數(shù)大的BCC鋼。霜粘附在冷卻的鋼樣品上時，霜的脫附會影響氫信號，導(dǎo)致擴散氫量出現(xiàn)誤差（增加不確定性）。IH-TDS1700 的冷卻阱（選件）通過捕獲霜來限度地減少霜的影響，從而可以獲得失真很小的擴散氫解吸光譜。
數(shù)據(jù)處理軟件可以對脫附氣體進(jìn)行定量分析，需要定期校準(zhǔn)質(zhì)譜儀的靈敏度。一般使用標(biāo)準(zhǔn)漏孔進(jìn)行靈敏度校準(zhǔn)需要準(zhǔn)備與氣體類型相同的昂貴標(biāo)準(zhǔn)品，并且校準(zhǔn)過程需要花費大量時間。此外，當(dāng)使用標(biāo)準(zhǔn)泄漏有毒氣體時，安全衛(wèi)生控制也更加嚴(yán)格。與標(biāo)準(zhǔn)泄漏校準(zhǔn)方法相比，ESCO當(dāng)前的離子電流量化程序可以快速、簡單、安全地量化逸出氣體。通過定期測量ESCO的 NIST可追溯氫標(biāo)準(zhǔn)樣品，即可以獲得高精度的結(jié)果。即使對氫氣以外的氣體也能進(jìn)行靈敏度校正，并且已證實與AIST國家標(biāo)準(zhǔn)的標(biāo)準(zhǔn)泄漏校正的定量結(jié)果非常吻合。
| 項目 | 規(guī)格 |
| 真空壓力 | 主腔體1×10-7 |
| 樣品尺寸 | 20mm 直徑 x 40mm 長度 |
| 溫度范圍 | 低溫模式：-50 至正常 800°C， 1000°C 高溫模式：RT 至 1700°C 或更高 |
| 升溫速率 | 1-180℃/min |
| 偵測器 | QMS |
| 感度Ar | 1*1011 Ar/s (S/N=3) |
| 軟件 | TDS measurement, Data Viewer, Quick CSV |
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