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廣州貝拓科學技術有限公司

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膜厚儀

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更新時間:2021-08-25 18:20:03瀏覽次數:390次

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薄膜測厚儀膜厚儀探頭同位接收反射光線。TF200根據反射回來的干涉光,用反復校準的算法快速反演計算出薄膜的厚度。測量范圍1nm-3mm,可同時完成多層膜厚的測試。對于100nm以上的薄膜,還可以測量n和k值。

產品介紹

價格區間面議

膜厚儀介紹   

 

快速、準確、無損、靈活、易用、性價比高

膜厚儀應用案例

薄膜測厚儀?應用領域

半導體(SiO2/SiNx、光刻膠、MEMS,SOI等)        

LCD/TFT/PDP(液晶盒厚、聚亞酰胺ITO等)                                  

LED (SiO2、光刻膠ITO等)                     

觸摸屏(ITO AR Coating反射/穿透率測試等)                

 汽車(防霧層、Hard Coating DLC等)             

醫學(聚對二甲苯涂層球囊/*壁厚藥膜等)

 

薄膜測厚儀?技術參數

型號

TF200-VIS

TF200-EXR

TF200-DUV

TF200-XNIR

波長范圍

380-1050nm

380-1700nm

190-1100nm

900-1700nm

厚度范圍

50nm-40um

50nm-300um

1nm-30um

10um-3mm

準確度1

2nm

2nm

1nm

10nm

精度

0.2nm

0.2nm

0.2nm

3nm

入射角

90°

90°

90°

90°

樣品材料

透明或半透明

透明或半透明

透明或半透明

透明或半透明

測量模式

反射/透射

反射/透射

反射/透射

反射/透射

光斑尺寸2

2mm

2mm

2mm

2mm

是否能在線

掃描選擇

XY可選

XY可選

XY可選

XY可選

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