TM3030日立臺式掃描電鏡標配的4分割背散射探測器,可采集來自四個不同方向的圖像信息,可以有四種成像模式。標配大樣品艙，可容納樣品直徑70mm,厚度50mm。
日立高新在2005年4月推出了代臺式顯微鏡，迄今為止，TM1000、TM3000、TM3030、 TM3030Plus一起出廠臺數已經有2900臺。
TM3030日立臺式掃描電鏡*的低真空顯微鏡功能使得樣品不需任何處理即可快速進行觀察。緊湊型設計意味著TM3030可以在辦公室和其他地方方便地安裝和操作。通過優化電子光學系統，TM3030還提供了“5kV mode"，使得樣品表面結構得到觀察，并且觀察不需要在高加速電壓下進行。
項目 | TM3030 | TM3030Plus |
觀察條件 | 5KV：3級 | |
(Low Mag. /Mid. Mag. /High Mag.) | ||
15KV | ||
15KV(Higher current) | ||
放大倍數 | 15X to 60,000X（數碼連續放大：x2，x4） | |
探測器 | 背散射電子探測器 | 背散射電子探測器，二次電子探測器 |
信號 | BSE | BSE |
SE | ||
合成（BSE+SE） | ||
觀察模式（真空度） | 標準模式（3-5Pa） | 導體（3-5Pa）（BSE only） |
消除核電模式（50Pa） | 標準模式（30Pa） | |
消除核電模式（50Pa） | ||
樣品尺寸 | 70mm（徑）X 50（高） | |
PC（OS） | Windows 7（32/64 bit） | Windows 7（64 bit） |
重量（主機） | 63kg（手動臺） | 65kg（手動臺） |
66kg（馬達臺） | 68kg（馬達臺） | |
自選附件 | EDX（Quantax70，SwiftED3000,3D View software）冷臺，傾斜&旋轉臺 | |
環保在線