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2.6 升的LOW-COST-PLASMA-LABORANLAGE ZEPTO 為手動型，配有 PC 和 PCCE 控制系統(tǒng)，主要用于以下領(lǐng)域：

小批量生產(chǎn)
分析 (REM, TEM)
醫(yī)療技術(shù)
滅菌
研究和開發(fā)部門
考古
紡織技術(shù)
塑料技術(shù)

系列	Zepto
控制系統(tǒng)	手動型 PCCE 控制系統(tǒng) (Microsoft Windows CE) PC 控制系統(tǒng) (Microsoft Windows POS Ready 2009)
體積	1.7~2.6L
真空腔室	圓形石英玻璃 (UHP)，配有蓋子（大約Φ 105 mm, 長 200 mm 或者長 300 mm）圓形硼硅玻璃 (UHP)，配有蓋子（大約Φ105 mm, 長 200 mm 或者長 300 mm）
電極	單層或多層
樣品支架	鋁板、不銹鋼板、硼硅玻璃、石英玻璃
氣源	針型閥質(zhì)量流量控制器 (MFCs)
壓力計(jì)	Pirani
計(jì)時(shí)器	數(shù)字型
高頻電流發(fā)生器	40 kHz: 功率 0 - 100 W 13.56 MHz: 功率 0 - 50 W, 0-300W
真空泵	4m3/H

其他選項(xiàng)

備件套件、壓力計(jì)、腐蝕性氣體設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)、氣瓶、減壓器、加熱板、溫度顯示器、加熱型腔室、Faraday Box、等離子體聚合配件、測試墨水、氧氣發(fā)生器、慢速通風(fēng)裝置、慢速抽吸裝置、TEM樣品架法蘭、維護(hù)/服務(wù)、當(dāng)?shù)卣Z言的文件、現(xiàn)場安裝，包括培訓(xùn)。可應(yīng)要求提供的其他選項(xiàng)。