K&S ARIS TT系列專為精密儀器設(shè)計的桌面主動減震臺，易與安裝的流線型設(shè)計，更方便定位的獨立支撐模塊，安裝過程無需復(fù)雜的調(diào)校。有工程師，物理學(xué)家及精密儀器領(lǐng)域內(nèi)的專家顧問共同研發(fā)顯著的降低了環(huán)境震動帶來的干擾，使它成為精密儀器的配置。

　 特殊內(nèi)置振動篩模式，確保精密儀器在不同場合的性能，可調(diào)整不同頻率和振幅，模擬真實環(huán)境條件。驗證精密機器內(nèi)部部件對振動的響應(yīng)，采用壓電陶瓷傳感器，精密控制對精密儀器內(nèi)部共振的影響自適應(yīng)對振動調(diào)整，提供給掃描電子顯微鏡更佳的工作狀態(tài)及分辨率。

臺式掃描電鏡主動減震臺技術(shù)指標：

隔振性能: 8dB gain on 1Hz(60-70%)

20dB gain on 2Hz(≥90%)

隔振自由度： 6個自由度

響應(yīng)時間： ≤0.01Sec

隔振性能： 0.5-100Hz

模塊尺寸： 230×270×75mm

承載重量： 15-200kg

臺式掃描電鏡主動減震臺平面結(jié)構(gòu)設(shè)計，根據(jù)設(shè)備尺寸及負載選擇合適型號，減震端子獨立工作，更加靈活，穩(wěn)定性更高，當(dāng) R M S小于4 5μm時，2 H z以上減震效果大1 0倍；減震器行程更長,壓電陶瓷在1 0 H z時＜2 0 0μm ( P - P ) .安裝無需起重設(shè)備，直接放置于設(shè)備下方，減震臺的高度尺寸8 0 m m。

SEM/AFM顯微鏡主動隔振解決方案