1400℃真空氣氛管式爐CVD系統（CVD-TF）
產品特點
產品特點
提供具有真空、可控氣氛及高溫的實驗環境
此款CVD生長系統適用于CVD工藝，如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導電率測試、ZnO納米結構的可控生長、陶瓷電容（MLCC）氣氛燒結等實驗。
產品性能
1、爐膛采用多晶莫來纖維真空吸附制成，溫場均勻節能50%以上
2、空氣導流隔熱技術保證箱內各部件的使用壽命及恒溫效果
3、啟動電爐，排溫風機同時自動運行，試驗結束后，排溫風機將繼續運行，直至爐體溫度低于60℃，排溫風機自行停止，有效保護了爐體表面
4、自動斷電、超溫保護功能、漏電保護功能，以確保使用的安全性
5、電路采用連續加熱輸出方式，雙回路供電，強弱電單獨走線提高了系統的穩定性
6、加熱模塊采用直流信號調節輸出功率，避免了感應電對控制信號的干擾
7、自動補償由于溫度或老化對硅碳棒阻值變化帶來的控溫影響，避免人為調節的不準確性和危險性
8、采用數顯流量顯示儀，配合質量流量控制器，采集數據并控制流量。具有控制精度高，重復性好，相應速度快，穩定可靠等特點。（氣體質量流量控制系統）
9、自動控制與手動控制切換功能，自動控制模式能通過設定值自動開啟關閉真空泵，使容器內保持在一定的真空壓力范圍內。手動控制模式使用用戶通過真空泵開啟關閉按鈕直接操作真空泵。以滿足不同實驗的需要。（中真空控制系統）
10電磁閥緩啟動技術，使電磁閥在真空泵開啟10秒鐘后打開，使爐管內系統壓力保持準確，也保證了廢氣不會返回到爐管系統影響實驗效果（中真空控制系統）
安全性
1、過升報警、菜單鎖定、過升防止、復電延時。
2、采用單向閥技術，使氣體流量在可控壓力范圍內控制，保證安全。
3、采用混氣罐裝置，使氣體可以在充分混合后導入工作室內，確保不會泄露。
產品參數
產品參數
| 型號 | 單溫區 | CVD-TF14P40 | CVD-TF14P50 | CVD-TF14P60 | CVD-TF14P80 | ||||||||
| 單溫區 | CVD-TF14T40 | CVD-TF14T50 | CVD-TF14T60 | CVD-TF14T80 | |||||||||
| 性能 | 使用溫度范圍 | 300~1400℃ | |||||||||||
| 溫度分辨率 | 1℃ | ||||||||||||
| 控溫精度 | ± 1℃ | ||||||||||||
| 升溫速率 | 0~20℃/min | ||||||||||||
| 加熱區長度 | 200mm | 400mm | |||||||||||
| 恒溫區長度 | 70mm | 140mm | |||||||||||
| 真空度 | -0.1MPa | ||||||||||||
| 空爐升溫時間 | ≤15min | ||||||||||||
| 配置爐管時升溫速度 | 500℃以下≤5℃/min；500-1000≤10℃/min；1000-1200≤5℃/min；1000-1400≤2℃/min | ||||||||||||
| 構成 | 外裝 | 冷軋鋼板，表面耐藥品性涂裝 | |||||||||||
| 爐膛體 | 多晶莫來石纖維 | ||||||||||||
| 爐膛尺寸 | 360*350*350mm | 560*350*350mm | |||||||||||
| 爐管 | 剛玉管 | ||||||||||||
| 爐管尺寸 | Φ40/34*1000 | Φ50/44*1000 | Φ60/50*1000 | Φ80/70*1000 | |||||||||
| 加熱器 | 硅碳棒 | ||||||||||||
| 加熱功率 | 3KW | 5KW | |||||||||||
| 斷熱層 | 雙層強制風導流 | ||||||||||||
| 打開方式 | 無 | ||||||||||||
| 控制 器 | 控制器 | P：進口程序控溫數碼顯示； T：7寸彩色觸摸屏程序控溫 | |||||||||||
| 控制方式 | 使用微型電腦PID控制 | ||||||||||||
| 設定方式 | P：輕觸五按鍵動作、數顯設定； T：手指觸摸輕點設定 | ||||||||||||
| 顯示方式 | P：雙行LED數字顯示； T：彩色液晶屏顯示 | ||||||||||||
| 定時 | 0~999.9小時 | ||||||||||||
| 運行功能 | 定值運行、程序運行 | ||||||||||||
| 程序模式 | P：程序運行、4條曲線、共40步； T：50步 可調用儲存程序 | ||||||||||||
| 傳感器 | S型熱電偶 | ||||||||||||
| 附屬功能 | P：校正功能； T：校正功能、實時曲線記錄、U盤數據導出 | ||||||||||||
| 安全裝置 | 過流漏電保護開關 | ||||||||||||
| 質量流量控制系統 | 氣路數量 | 3路（可根據具體需要選配氣路數量） | |||||||||||
| 流量范圍 | 0-0500sccm（標準毫升/分，可選配）氮氣標準 | ||||||||||||
| 精度 | ±1%F.S | ||||||||||||
| 響應時間 | ≤4s | ||||||||||||
| 工作溫度（流量計） | 5-45℃ | ||||||||||||
| 工作壓力 | 進氣壓力0.05-0.3MPa（表壓力） | ||||||||||||
| 系統連接方式 | 采用KF快速連接波紋管、高真空手動擋板閥及數顯真空測量儀 | ||||||||||||
| 中真空控制系統 | 系統真空范圍 | 10-100Pa | |||||||||||
| 真空泵 | 雙級機械泵理論極限真空度3x10-1Pa，抽氣速率4L/s，出氣口配有油污過濾器，額定電壓200V，功率0.55Kw | ||||||||||||
| CVD系統配置 | 1400度真空管式爐多路質量流量控制系統真空系統 | ||||||||||||
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