超純水是一種純度*的水，是指將水中的導電介質幾乎*去除，同時把不離解的氣體、膠體以及有機物(包括細菌)也去除至很低程度的水。其電導率一般為0.1~0.055uS/cm，電阻率(25℃)>10x106Ω/cm ，含鹽量<0.1㎎/L.理想純水(理論上)為0.055 uS/cm，電阻率(25℃)為18.3x106Ω/cm 。

采用離子交換方式，其流程如下: 原水→原水加壓泵→多介質過濾器→活性炭過濾器→軟水器→精密過濾器→陽樹脂過濾→陰樹脂過濾→陰陽樹脂混床→微孔過濾器→用水點 2、采用兩級反滲透方式，其流程如下: 原水→原水加壓泵→多介質過濾器→活性炭過濾器→軟水器→精密過濾器→一級反滲透 →PH調節→中間水箱→二級反滲透→純化水箱→純水泵→微孔過濾器→用水點 3、采用EDI方式，其流程如下: 實驗室超純水系統,超純水設備 原水→原水加壓泵→多介質過濾器→活性炭過濾器→軟水器→精密過濾器→一級反滲透機→中間水箱→中間水泵→EDI系統→微孔過濾器→用水點 4、原水→多介質過濾器→活性炭過濾器→軟化水器→中間水箱→低壓泵→PH值調節→高效混合器→精密過濾器→高效反滲透→中間水箱→EDI水泵→EDI系統→微孔過濾器→用水點 要了解反滲透法除鹽原理、先要了解"滲透"的概念。滲透是一種物理現象、當兩種含有不同濃度鹽類的水、如用一張半滲透性的薄膜分開就會發現、含鹽量少一邊的水分開透過膜滲到含鹽量高的水中、而所含的鹽分并不滲透、這樣、逐漸把兩邊的含鹽濃度融和到均等為止。