產品介紹

Thermo Scientifc ™ Scios ™ 2 DualBeam ™ 系統是一款超高分辨率分析系統，可為泛類型的樣品（包括磁性和不導電材料）提供出色的樣品制備和三維表征性能。Scios 2 DualBeam 系統創新性的功能設計，優化了其樣品處理能力、分析精度和易用性，是滿足科學家和工程師在學術、政府和工業研究環境中進行高級研究和分析的理想解決方案。 Scios 2 DualBeam 系統的創新，結合最易于使用、面的 ThermoScientific AutoTEM ™ 4軟件（可選）和專業的應用知識，可快速輕松地定位制備各類材料的高分辨S/TEM樣品。 為了獲得高質量的結果，需要使用低能離子進行精拋，以限度地減少樣品的表面損傷。 Thermo Scientific Sidewinder ™ HT聚焦離子束（FIB）鏡筒不僅可以在高電壓下提供高分辨率成像和刻蝕，而且具有良好的低電壓性能，可以制備高質量的TEM薄片。ScientificTrinity ™ 檢測技術可同時采集角度和能量選擇性SE和BSE圖像。無論是將樣品豎直或傾斜放置進行觀察，亦或者是觀察樣品截面，都可快速獲取最詳細的納米級信息。可選配的透鏡下探測器和電子束減速模式可確保快速、輕松地同時采集所有信號，以顯示材料表面或截面中的最小特征。依托*的NICol鏡筒設計和全自動合軸功能，用戶可獲得快速、準確且可重復的結果。

產品特點

? 使用 Sidewinder HT離子鏡筒快速、簡便地制備高質量、定位TEM 和原子探針樣品。

? Thermo Scientific NICol ™ 電子鏡筒可進行超高分辨率成像，滿足泛類型樣品（包括磁性和不導電材料）的成像需求。

? 各類集成化鏡筒內及極靴下探測器，采集優質、銳利、無荷電圖像，提供最完整的樣品信息。

? 可選AS&V4軟件，精確定位感興趣區域，獲取優質、多模態內部和三維信息。

? 高度靈活的110 mm樣品臺和內置的Thermo Scientific Nav- Cam ™ 相機實現精確樣品導航。

? 專用的DCFI、漂移抑制技術和Thermo Scientific SmartScan ™等模式實現無偽影成像和圖形加工。

? 靈活的 DualBeam 配置，優化解決方案滿足特定應用需求。

參數

電子束

? 電子束流范圍：1pA–400nA

? 著陸能量范圍： 20* eV - 30 keV

? 加速電壓范圍：200 V - 30 kV

? 水平視場寬度：7mm工作距離下為3.0mm，60mm工作距離下為7.0mm

? 導航蒙太奇功能可額外增大視場寬度

離子光學

? 的大束流Sidewinder離子鏡筒

? 加速電壓范圍：500 V - 30 kV

? 離子束流范圍：1.5pA–65nA

? 15 孔光闌

? 標配不導電樣品漂移抑制模式

? 離子源壽命至少1,000小時

? 離子束分辨率：30 kV下3.0 nm（采用選邊法）

探測器

? Trinity 探測系統（透鏡內和鏡筒內）

 ? T1 分割式透鏡內低位探測器

 ? T2 透鏡內高位探測器

 ? T3可伸縮鏡筒內探測器*

 ? 可同步檢測多達四種信號

? ETD–Everhart-Thornley 二次電子探測器

? ICE探測器 - 高性能離子轉換和電子探測器，用于采集二次電子和二次離子*

? DBS–可伸縮式低電壓、高襯度、分割式固態背散射電子探測器*

? STEM 3+–可伸縮分割式探測器(BF、DF、HAADF) *

? 樣品室紅外CCD相機，用于樣品臺高度觀察

? Nav-Cam ™：樣品室內彩色光學相機，用于樣品導航*

樣品臺和樣品

? 靈活五軸電動樣品臺：

 -XY范圍：110mm

 - Z范圍：65mm

? 旋轉：360°（連續）

? 傾斜范圍：-15°到+90°

? XY重復精度：3μm

? 樣品高度：與優中心點間隔85mm

? 樣品質量（0°傾斜）：2kg（包括樣品托）

? 樣品尺寸：可沿X、Y軸*旋轉時直徑為110mm（若樣品超出此限值，則樣品臺行程和旋轉會受限）

? 同心旋轉和傾斜

? *無油的真空系統

? 樣品倉真空（高真空）：< 6.3 x 10 -6 mbar（72小時抽氣后）

? 抽氣時間：< 3.5 分鐘

? 可選低真空模式：樣品倉真空可達500Pa

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