臭氧是一種強氧化劑，具有良好的殺菌消毒效果，臭氧滅菌的過程屬于生物化學氧化反應。臭氧可以氧化分解細菌等微生物內葡萄糖所必需的酶，也可以直接與細菌、病毒發生作用，破壞其細胞和核糖核酸，分解DNA、RNA、蛋白質、脂質類和多糖等大分子聚合物，使細菌等微生物內的物質發生通透性畸變，導致細胞的溶解死亡,并且將死亡菌體內的遺傳基因、寄生菌種、寄生病毒粒子、噬菌體、支原體及熱原（細菌病毒代謝產物、內毒素）等溶解變性滅亡。工業上所用的臭氧，大都采用氣體電暈放電型的臭氧發生器制備而得。

      1.高潔性：臭氧在環境中可自然分解為氧，這是臭氧作為消毒滅菌劑的*優點。臭氧利用空氣中的氧氣產生的，消毒氧化過程中，多余的氧原子（O）在30分鐘后又結合成為分子氧（O2），不存在任何殘留物質，解決了消毒劑消毒時，殘留物的二次污染問題，同時省去了消毒結束后的再次清潔。

      2.方便性：臭氧殺菌設備一般安裝在室內或中央空調系統、空氣凈化系統中，或者是滅菌設備中（如臭氧消毒滅菌柜、傳遞窗等）。可根據滅菌所需濃度及時間，自動設置臭氧滅菌設備的定時控制，操作使用方便。而甲醛、環氧乙酸熏蒸消毒時間長，而臭氧消毒可以天天定時開啟使用。

      3.高效性：臭氧發生器消毒不需要其他任何輔助材料和添加劑。消毒進行時臭氧發生裝置產生一定量的臭氧，在相對密封的環境下，擴散均勻，包容性、通透性好，克服了紫外線燈管殺菌存在的消毒死角問題，達到全，方位、快速、高效的消毒殺菌目的。另外，由于它的滅菌廣譜性，既可以殺滅細菌繁殖體、芽胞、病毒、真菌和原蟲孢體等多種微生物，還可以破壞肉毒桿菌和毒素及立克次氏體等，同時還具有很強的除霉、腥、臭等異味的功能。

      臭氧發生器是用于制取臭氧氣體（O3）的裝置。臭氧易于分解無法儲存，需現場制取現場使用（特殊的情況下可進行短時間的儲存），所以凡是能用到臭氧的場所均需使用臭氧發生器。臭氧發生器在飲用水，污水，工業氧化，食品加工和保鮮，醫藥合成，空間滅菌等領域廣泛應用。 臭氧發生器產生的臭氧氣體可以直接利用，也可以通過混合裝置和液體混合參與反應。