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南通麥科自動化科技有限公司
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閱讀：121發布時間：2022-11-7
為什么超純水在半導體行業生產中具有很高的重要性
超純水系統被稱之為半導體行業的血脈，半導體行業又是一個高能耗的行業，在半導體產品制造過程中，由于生產設備的精密性和生產工藝的復雜性，對其配套設施提出了很高的要求。
在芯片、集成電路等生產中，由于半導體元件集成度高，生產線窄，對水質要求特別高，超純水成為了電子行業的“標配"，超純水中的堿金屬(K、Na等)會使絕緣膜耐壓不良，重金屬(Au、Ag、Cu等)會使PN結耐壓降低，III族元素 (B、Al、Ga等)會使N型半導體特性惡化，V族素(P、As、Sb等)會使P型半導體特性惡化，水中細菌高溫碳化后的磷(約占灰分的20%~50%) 會使P型硅片上的局部區域變化為N型硅而導致器件性能變壞。水中的顆粒(包括細菌)如吸附在硅片表面，就會引起電路短路或特性變差。可見，超純水在半導體行業中的重要性。
半導體超純水設備出水水質要符合美國ASTM純水水質標準、我國電子工業電子級水質技術標準(18 MΩ.cm、15 MΩ.cm、10 MΩ.cm、2 MΩ.cm、0.5 MΩ.cm)、我國電子工業超純水水質試行標準、半導體工業用純水指標、集成電路水質標準。
國內的超純水設備廠家很多，工藝也比較透明，目前的超純水設備工藝是二級反滲透+EDI裝置 出水電阻率達到15兆歐，或者雙級反滲透系統+EDI+拋光混床工藝，出水電阻率可達18兆歐。
超純水系統的主要部件之一是RO反滲透膜，RO膜的價格和壽命是超純水系統設計中重要的考慮因素，假如反滲透膜都采取國外進口，超純水設備價格會超出許多，雖然國外反滲透膜超濾膜起步比我們早，但國內一些優秀的膜廠家經過多年精進發展，產品質量穩定，而且售前售后服務也比較到位，價格較進口膜有很大的優勢，占有率越來越高。
在超純水制造工藝中，傳統預處理方式是“由多介質過濾器+活性碳過濾器"，傳統的預處理過程中SDI值不好控制，一般大于5，不利于后續的一級反滲透系統的運行。而超濾裝置的出水SDI值比較穩定，通常可保證SDI＜3，能夠有效地保證一級反滲透系統的運行，且對比傳統的預處理方式占地面積大的缺陷，為企業節省較高的基建費用。
南通麥科自動化在水處理行業深耕多年，結合市場對半導體制造、醫藥、食品等行業的需求，為各行業設計成熟、可靠、自動化程度高、高性能、高性價比的超純水設備，不但出水電阻率能穩定達到生產需求，且優化整套工藝，綜合一次性投資成本和后期運行維護費用，能有效保障后期處理設備的安全，延長設備的使用壽命。
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