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深圳維爾克斯光電有限公司
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電動晶圓臺與真空 (HV) 兼容，是電子顯微鏡室真空臺的理想選擇。WP-Z-120A Wafer Stage可針對不同的環境和規格進行定制。高負載晶圓臺還提供超高真空 (UHV) 和 UHV-RAD 抗輻射版本。OEM晶圓臺更高負載的定制版本可用于高達14 kg的負載，并且提供用于平臺調平和掃描的傾斜版本。
PRIOR納米壓電Z軸高負載晶圓臺,12英寸大尺寸晶圓臺
毫秒級響應時間和高帶寬使WP-Z-120A晶圓定位系統非常適合需要高吞吐量的應用。電動晶圓臺設計用于容納 300毫米（12英寸晶圓）的晶圓，并提供的性能，負載高達8公斤，適用于重型晶圓卡盤。
該平臺使用電容式定位傳感器提供納米位移測量和閉環反饋。彎曲引導在120 μm閉環范圍內提供無摩擦且可靠的運動，并通過Queensgate的數字閉環控制器實現快速響應和穩定時間。
PRIOR旗下Queensgate公司業務開發經理Alison Raby表示“我們很高興向市場推出WP-Z-120A大尺寸晶圓臺。我們希望設計一款能夠承載高負載但實現市場的快速響應和穩定時間的納米壓電Z軸晶圓載物臺，晶圓掃描儀的設計考慮了OEM客戶，并且可以適應輕松升級到新的OEM晶圓臺自定義版本。"
WP-Z-120A高負載晶圓臺可針對不同的環境和規格進行定制。它與真空 (HV) 兼容，是電子顯微鏡室的理想選擇。還提供超高真空（UHV）和UHV-RAD抗輻射版本。更高負載的真空臺定制版本可用于高達14公斤的負載，并且提供用于平臺調平和掃描的傾斜版本。可根據要求提供160 μm的擴展范圍和200 mm晶圓的更小尺寸。
高負載壓電晶圓Z軸平臺技術規格：
| 納米晶圓臺參數 | 定值 | | | 單位 |
| 材質 | | 鋁 | | |
| 拋光 | | 非磁性鎳 | | |
| 尺寸 | | 375 L X 375 W x 30 H | | |
| 平臺尺寸 | | 350 直徑 | | |
| | 最小 | 典型值 |
| |
| 閉環行程 | | 140 | | μm |
| 校準范圍 | 120 | | | μm |
| 共振頻率 0 kg | | 320 | | Hz |
| 共振頻率 5.2 kg | | 190 | | Hz |
| 共振頻率 8 kg | | 155 | | Hz |
| 線性誤差 | | 0.1 | 0.3 | % |
| 動態（典型值） | | | | |
| 測試負載 | 0 | 5.2 | 8 | Kg |
| 平臺沉降 1 μm | 9 | 13 | 14 | ms |
| 平臺沉降 30 μm | 16 | 22 | 24 | ms |
| 噪聲 | 1.2 | 1.5 | 1.8 | nm |
| 重復性, 60 μm步進 | | 5.5 | | nm |
| 3 dB伺服環路帶寬 | 65 | 45 | 40 | Hz |
高負載壓電晶圓Z軸平臺
高負載壓電晶圓Z軸平臺主要應用：
-晶圓或掩模檢測應用
-電子顯微鏡SEM/TEM應用
-干涉測量和計量應用
-顯微鏡高精度載物臺應用
-材料檢驗應用
-鏡面定位應用
高負載壓電晶圓Z軸平臺定制解決方案：
-真空(HV)兼容版本，非常適合在電子顯微鏡的真空室中使用
-超高真空 (UHV)和UHV-RAD抗輻射版本，具有低放氣聚酰亞胺布線
-高負載OEM晶圓臺定制版本，可使用高達14公斤
-用于平臺調平和掃描的傾斜調制Z軸定制版本
-160 μm的擴展范圍
-200 mm晶圓的裝配/12英寸晶圓的裝配
-可提供用于Prior Scientific載物臺H112高精度載物臺的轉接板
高負載壓電晶圓Z軸平臺的NPC-D-6110壓電控制器：
高負載壓電晶圓Z軸平臺可由NPC-D-6110壓電控制器驅動控制，NPC-D-6110壓電控制器具備20 μm的更新速率，該規格參數在市面上具備極大的優勢，其超低噪聲的控制模式在高伺服環路帶寬或高負載使用下依舊可以保證高分辨率運行。帶有加速/減速控制的運動控制算法可減少超調，可以提供更佳的步進穩定時間。該系統提供高達三個出廠設置，可選擇的調諧預設使得控制器使用時，對于步進穩定和樣品質量進行了優化處理。五個額外的自定義預設可用于自定義調整。
新的速度控制算法為對焦堆疊或對焦包圍等應用提供了超平滑的波形。
高負載壓電晶圓Z軸平臺的操作界面：
模擬命令輸入和位置輸出- 10 – + 10 V或0 – 10 V。數字命令可通過USB、RS232C或數字正交/步進和方向命令獲得。可選的高速RS422C數字接口用于樣品精確控制和位置反饋。
提供了一個DLL接口，便于與客戶的軟件集成。回放自定義編程波形，如光柵掃描或等速剖面的標準功能。可以在自定義點激活單獨的數字觸發輸出，以控制外部設備，例如相機成像等應用需求。
高負載壓電晶圓Z軸平臺訂購和配件信息：
| 訂購型號 | 晶圓臺描述 |
| QGWP120A-D1 | 300 mm (12") high speed low profile wafer piezo stage 120 μm Z with NPC-D-6100 digital controller |
| QGWP120A-UHV-D1 | 300 mm (12") high speed low profile wafer piezo stage 120μm Z high vacuum compatible with NPC-D-6100 digital controller |
| 配件信息 | |
| QGWPADAPT1 | H112 to WP120A adapter plate kit |
| QGWP30 | 150, 200 and 300 mm (6, 8 & 12") wafer chuck |
| QGWP30V | 150, 200 & 300 mm (6, 8 & 12") vacuum hold wafer chuck |
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