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深圳維爾克斯光電有限公司
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德國Marzhauser為用戶提供的納米Z軸載物臺（Piezo Z-Stage），具有緊湊型結構，最小步進1nm，行程500μm。納米Z軸平臺可裝載在SCAN IM系列產品上，通過TANGO控制器實現操控，也可裝載在手動測量平臺上使用，允許集成SCD數顯以顯示XYZ三軸數據。
最小步進1nm，行程500μm的納米Z軸載物臺
德國Marzhauser所提供電動Z軸選擇，不僅僅是Z軸電動馬達，還提供納米精度的單軸顯微鏡載物臺Piezo Z-Stage，該設備適用于部分需要更高精度設備或是需要集成搭建的用戶。
納米Z軸平臺具有高速運行特點以及高分辨率的樣品定位功能，通過在光軸上精準，快讀的移動并允許在幾毫秒的時間內調整樣品，并在納米范圍內精準的實現電動聚焦功能，同時大孔徑設計使用于多種不同的樣品架安裝，從標準載波片到微滴度板都可以裝載使用。
無論是Piezo Z-Stage還是Piezo Z-Stage 500 μm均可與德國Marzhauser的SCAN IM系列倒置顯微鏡電動載物臺相兼容，其中Piezo Z-Stage 500 μm相比Piezo Z-Stage擁有更高的行程及精度，可做到最小步進1 nm，行程500 μm。納米Z軸載物臺需匹配獨立的操作桿和控制器，獨立控制器可保證該平臺運行的平穩以及控制需求，僅納米平臺、控制器和操作桿三個部件即可完成獨立運行，操作桿可顯示當前位置數據，方便用戶記錄觀測，同時可將Piezo Z-Stage與SCD相連接，實現XYZ三軸位置信息的讀取。
Piezo Z-Stage
行程300μm，閉環高精度納米Z軸載物臺。
| 規格 | USB/ANALOG IN |
| 行程 | 300 μm |
| 分辨率 | 4 nm / 18 nm |
| 重復性 | 4 nm / 18 nm（單向） |
| 線性度 | 0.5 % / 2.5 % |
| 穩定時間（空載/負載） | 25 ms |
| 負載 | 500 g |
| 運行方式 | 閉環運行 |
| 重量 | 1 kg（包括2 m連接電纜） |
Marzhauser Piezo Z-Stage特點：
-與SCAN IM系列產品中幾乎所有的Marzhauser Wetzlar掃描臺相兼容
-壓電放大器Nano-Drive®C與帶有AUX I / O接口的TANGO控制器直接連接
-只需一個操作裝置（例如操縱桿）即可舒適地操作完整的定位系統
-行程高達300μm的高速壓電Z軸運動
-直接插入孔板，無需額外的工作臺插件
-超大手柄凹槽，可輕松處理帶蓋的孔板
-隨附的用于輕松進行偏置校準的測量儀器
Piezo Z-Stage 500 μm規格參數
行程500μm，1nm最小步進高精度納米Z軸載物臺。
| 規格 |
|
| 行程 | 500 μm |
| 分辨率 | 1 nm（最小步進） |
| 重復性 | ± 5 nm（單向） |
| 線性度 | ＜0.05 % |
| 承重 | 1.5 kg |
| 位置傳感器 | 電容 |
| 運行方式 | 閉環運行 |
| 接口 | USB, RS-232, CAN, Trigger In/Out, Analog In (0–10 V DC) |
| 重量 | 1 kg |
Piezo Z-Stage 500 μm特點：
-與SCAN IM系列產品中幾乎所有的Marzhauser Wetzlar掃描臺相兼容
-與帶有AUX I/O 接口的Piezo控制器和TANGO控制器之間的直接連接
-在手輪屏幕上顯示當前位置，允許獨立操作
-行程范圍內的動態Z軸運動
-高達500 μm的行程范圍
-可以通過觸發功能實現高度動態的掃描序列
-重量無關的旅行特性，可高達1.5千克
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