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沈陽科晶自動化設備有限公司
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OTF-1200X-5S小型開啟式管式爐
產品簡介: OTF-1200X-5S是一款CE認證的小型開啟式管式爐,其工作溫度可以達到1000℃。爐管Φ130mm的高純石英管。設備配有一對不銹鋼密封法蘭,可在真空或氣氛保護環境下對樣品進行熱處理。對于控溫系統,可設置30段升降溫程序,控溫精度為+/- 1℃。此款管式爐最多可對4英寸的晶片進行退火。
產品型號 | OTF-1200X-5S小型開啟式管式爐 |
主要特點 | 爐體結構 雙層殼體結構 表面涂有高溫氧化鋁涂層,可提高加熱效率,保證溫度均勻性,爐膛采用高純氧化鋁纖維作材料,此款管式爐也可做為立式爐使用(點擊圖片查看詳細資料) |
技術參數 | 1.功率:3KW 2.電壓:220VAC 50/60Hz 3.工作溫度:1000℃(<1小時),連續工作溫度:900℃ 4.加熱速率:20℃/min 5.加熱區 加熱區長度:300mm 恒溫區長度: 100 mm (+/-1ºC ) 140 mm (+/-2ºC ) 6.溫控系統 采用PID方式調節溫度,可設置30段升降溫程序 帶有超溫和斷偶保護 可選購MTS02-B控溫模塊,可用電腦設置和顯示溫度程序 7.歐陸儀表(可選) 可選購歐陸3504溫控儀表,可與LABVIEW軟件比配 8.控溫精度:+/- 1°C: 9.爐管:石英管,尺寸:130mm O.D x 120mm I.D x 640mmL 配有2個氧化鋁管堵,使用設備時應放在爐管兩端,保證恒溫區和法蘭密封性 可選購石英管堵,提高爐管內的潔凈度和幫助獲得高真空 9.真空密封法蘭 配有一對不銹鋼密封法蘭,采用硅膠密封圈密封 右端法蘭為KF25接口,用于連接真空泵 左端法蘭上安裝有機械壓力表,接口為1/4英寸卡套接頭,用于連接氣瓶 真空度:10-2torr (采用機械泵) 可選:5英寸的水冷鉸鏈法蘭,并帶有支撐架 水冷法蘭通入冷卻水后,設備溫度可以達到1100℃(<1小時) 10.真空壓力表 安裝有一機械壓力表,測量范圍為-0.1~0.15MPa 可選購數顯防腐真空計當氣壓在10mbar以上時,不需因測量氣體種類不同而進行系數轉換,測量范圍為3.8x10-5 -1125 Torr 11.鎧裝熱電偶(可選) 可選購鎧裝K型熱電偶,通過法蘭的鎧裝孔伸入到爐管內部,測量樣品的實際溫度 可選購一個法蘭支撐架,防止爐管轉動 12.尺寸: 爐蓋打開關閉時: 430mm(L) × 480mm(W) × 480mm(H) 爐蓋打開時 : 660mm(L) × 480mm(W) × 720mm(H) ·
13.凈重:48 Kg |
質保 | 一年保修,終身維護 |
質量認證 | CE認證 所有電器元件(>24V)都通過UL / MET / CSA認證 若客戶出認證費用,本公司保證單臺設備通過德國TUV認證或CAS認證 |
應用注意事項 | 爐管內氣壓不可高于0.02MPa 由于氣瓶內部氣壓較高,所以向爐管內通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全 當爐體溫度高于1000℃時,爐管內不可處于真空狀態,爐管內的氣壓需和大氣壓相當,保持在常壓狀態 進入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊 石英管的長時間使用溫度<1100℃ 對于樣品加熱的實驗,不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關注壓力表的示數,若氣壓表示數大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發生(如爐 管破裂,法蘭飛出等) |
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