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沈陽科晶自動化設備有限公司


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OTF-1200X-5S小型開啟式管式爐

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產品型號

品       牌

廠商性質其他

所  在  地沈陽市

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更新時間:2023-06-29 15:25:14瀏覽次數:101次

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產品簡介

OTF-1200X-5S小型開啟式管式爐

詳細介紹

產品簡介: OTF-1200X-5S是一款CE認證的小型開啟式管式爐,其工作溫度可以達到1000℃。爐管Φ130mm的高純石英管。設備配有一對不銹鋼密封法蘭,可在真空或氣氛保護環境下對樣品進行熱處理。對于控溫系統,可設置30段升降溫程序,控溫精度為+/- 1℃。此款管式爐最多可對4英寸的晶片進行退火。

產品型號

OTF-1200X-5S小型開啟式管式爐

主要特點

爐體結構

雙層殼體結構

表面涂有高溫氧化鋁涂層,可提高加熱效率,保證溫度均勻性,爐膛采用高純氧化鋁纖維作材料,此款管式爐也可做為立式爐使用(點擊圖片查看詳細資料)

           

技術參數

1.功率:3KW

2.電壓:220VAC 50/60Hz

3.工作溫度:1000℃(<1小時),連續工作溫度:900

4.加熱速率:20/min

5.加熱區

加熱區長度:300mm

恒溫區長度:

100 mm (+/-1ºC )

140 mm (+/-2ºC )

6.溫控系統

采用PID方式調節溫度,可設置30段升降溫程序

帶有超溫和斷偶保護

可選購MTS02-B控溫模塊,可用電腦設置和顯示溫度程序

                          

7.歐陸儀表(可選)

可選購歐陸3504溫控儀表,可與LABVIEW軟件比配

 

8.控溫精度:+/- 1°C:

9.爐管:石英管,尺寸:130mm O.D x 120mm I.D x 640mmL

配有2個氧化鋁管堵,使用設備時應放在爐管兩端,保證恒溫區和法蘭密封性

可選購石英管堵,提高爐管內的潔凈度和幫助獲得高真空

9.真空密封法蘭

配有一對不銹鋼密封法蘭,采用硅膠密封圈密封

右端法蘭為KF25接口,用于連接真空泵

左端法蘭上安裝有機械壓力表,接口為1/4英寸卡套接頭,用于連接氣瓶

真空度:10-2torr (采用機械泵)

可選:5英寸的水冷鉸鏈法蘭,并帶有支撐架

水冷法蘭通入冷卻水后,設備溫度可以達到1100℃(<1小時)    

10.真空壓力表

安裝有一機械壓力表,測量范圍為-0.10.15MPa

可選購數顯防腐真空計當氣壓在10mbar以上時,不需因測量氣體種類不同而進行系數轉換,測量范圍為3.8x10-5 -1125 Torr

      

11.鎧裝熱電偶(可選)

可選購鎧裝K型熱電偶,通過法蘭的鎧裝孔伸入到爐管內部,測量樣品的實際溫度

可選購一個法蘭支撐架,防止爐管轉動

          

12.尺寸:

爐蓋打開關閉時: 430mm(L) × 480mm(W) × 480mm(H)

爐蓋打開時 : 660mm(L) × 480mm(W) × 720mm(H)

· 

 

 

 

13.凈重:48 Kg

質保

一年保修,終身維護

質量認證

CE認證

所有電器元件(>24V)都通過UL/MET/CSA認證

若客戶出認證費用,本公司保證單臺設備通過德國TUV認證或CAS認證

應用注意事項

爐管內氣壓不可高于0.02MPa

由于氣瓶內部氣壓較高,所以向爐管內通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全

當爐體溫度高于1000℃時,爐管內不可處于真空狀態,爐管內的氣壓需和大氣壓相當,保持在常壓狀態

進入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊

石英管的長時間使用溫度<1100

對于樣品加熱的實驗,不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關注壓力表的示數,若氣壓表示數大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發生(如爐 管破裂,法蘭飛出等)

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