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沈陽科晶自動化設備有限公司
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SGC-10薄膜測厚儀
產品簡介：SGC-10薄膜測厚儀，適用于介質，半導體，薄膜濾波器和液晶等薄膜和涂層的厚度測量。該薄膜測厚儀，是與美國new-span公司合作研制的，采用new-span公司*的薄膜測厚技術，基于白光干涉的原理來測定薄膜的厚度和光學常數（折射率n，消光系數k）。它通過分析薄膜表面的反射光和薄膜與基底界面的反射光相干形成的反射譜，用相應的軟件來擬合運算，得到單層或多層膜系各層的厚度d，折射率n，消光系數k。
| 產品型號 | SGC-10薄膜測厚儀 |
| 主要特點 | 1、非接觸式測量，用光纖探頭來接收反射光，不會破壞和污染薄膜； 2、測量速度快，測量時間為秒的量級； 3、可用來測薄膜厚度，也可用來測量薄膜的折射率n和消光系數k； 4、可測單層薄膜，還可測多層膜系； 5、可廣泛應用于各種介質，半導體，液晶等透明半透明薄膜材料； 6、軟件的材料庫中整合了大量材料的折射率和消光系數，可供用戶參考； 7、內嵌微型光纖光譜儀，結構緊湊, 光纖光譜儀也可單獨使用。 8、強大的軟件功能：界面友好，操作簡便，用戶點擊幾下鼠標就可以完成測量。便捷快速的保存、讀取測量得到的反射譜數據數據處理功能強大，可同時測量多達四層的薄膜的反射率數據。一次測量即可得到四層薄膜分別的厚度和光學常數等數據。材料庫中包含了大量常規的材料的光學常數數據。用戶可以非常方便地自行擴充材料數據庫。 9、儀器具有開放性設計，儀器的光纖探頭可很方便地取出，通過儀器附帶的光纖適配器（如圖所示）連接到帶C-mount適用于微區（>10μm，與顯微鏡放大率有關）薄膜厚度的顯微鏡（顯微鏡需另配），就可以使本測量儀測量。 |
| 技術參數 | 1、厚度范圍： 20nm-50um（只測膜厚），100nm-25um（同時測量膜厚和光學常數n，k），根據薄膜材料的種類，其范圍有所不同。 2、準確度： <1nm或<0.5% 3、重復性： 0.1nm 4、波長范圍： 380nm-1000nm 5、可測層數： 1-4層 6、樣品尺寸： 樣品鍍膜區直徑>1.2mm 7、測量速度： 5s-60s 8、光斑直徑： 1.2mm-10mm可調 9、樣品臺： 290mm*160mm 10、光源： 長壽命溴鎢燈（2000h） 11、光纖： 純石英寬光譜光纖 12、探測器： 進口光纖光譜儀 13、電源：AC110V-240V，50HZ-60HZ |
| 產品規格 | 尺寸：300mm*300mm*350mm，重量：18kg |
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