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中圖儀器（chotest）超高精度激光干涉儀測量系統SJ6000

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更新時間：2023-03-30 17:59:12瀏覽次數：455次

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產品簡介

中圖儀器SJ6000超高精度激光干涉儀測量系統采用高速干涉信號采集、調理及細分技術，可實現高4m/s的測量速度，以及納米級的分辨率

詳細介紹

中圖儀器SJ6000超高精度激光干涉儀測量系統采用高速干涉信號采集、調理及細分技術，可實現高4m/s的測量速度，以及納米級的分辨率。

結合不同的光學鏡組，SJ6000超高精度激光干涉儀測量系統可實現線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。在動態測量軟件配合下，還可實現線性位移、角度和直線度的動態測量與性能檢測，以及進行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態分析，如振動分析、絲桿導軌的動態特性分析、驅動系統的響應特性分析等。