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雙爐體CVD設備

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產品型號KJ-T1200-W2

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所在地鄭州市

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更新時間：2025-05-12 10:59:12瀏覽次數：50次

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產品簡介

產品介紹：該雙爐體CVD系統為定制款，適用于CVD工藝，如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導電率測試、ZnO納米結構的可控生長、陶瓷電容（MLCC）氣氛燒結等實驗

詳細介紹

產品介紹：
該雙爐體CVD系統為定制款，適用于CVD工藝，如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導電率測試、ZnO納米結構的可控生長、陶瓷電容（MLCC）氣氛燒結等實驗。

產品特點：
1、控制電路選用模糊PID程控技術，該技術控溫精度高，熱慣性小，溫度不過沖，性能可靠，操作簡單。
2、氣路快速連接法蘭結構采用本公司的知識產權設計,提高操作便捷性。
3、中真空系統具有真空度上下限自動控制功能，高真空系統采用高壓強，耐沖擊分子泵
防止意外漏氣造成分子泵損壞，延長系統使用壽命。

參數詳情：

產品型號	KJ-T1200-W2
管式爐部分
爐體結構	雙層殼體結構，配有冷風系統自動降溫爐殼溫度不超過45℃
爐膛材質	真空吸附成型的優質高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛，材料保溫性能好、反射率高、溫場均衡
溫度	1200℃
使用溫度	≤1100℃
升溫速度	推薦≤10℃/min，升溫速度20℃/min
爐管材料	石英管
爐管尺寸	OD:50mmID:44mm 長1400mm 管子中間部位開15mm，有個堵塞可堵上
加熱區長度	200mm+200mm（雙爐體）
爐膛開口	每個爐膛對應開寬10mm*長80mm的孔，并可封堵
法蘭	不銹鋼密封法蘭，拆卸方便，法蘭上裝有精密針閥
溫控系統	溫度控制系統采用人工智能調節技術，具有PID調節、自整定功能，并可編制30段升降溫程序； 1、采用PID方式調節控溫，可設置30段升降溫程序 2、控溫精度±1ºC 3、具有過溫保護、斷偶保護 4、儀表具有溫度自整定的功能
加熱元件	合金電阻絲
測溫元件	2支K型熱電偶分別獨立控溫
工作電源	AC220V，50Hz
額定功率	4KW
進出氣口	法蘭上含有進出氣口和精密針閥
氣路系統部分
質量流量計	二路精密質量流量計：數字顯示、氣體流量自動控制。 MFC1 N2 范圍: 0-1000 sccm MFC2 CO2范圍: 0-1000 sccm 氣路:2路流量精度: 0.2% 進氣和出氣接口: 1/4" 卡套每路氣路都有一個獨立的不銹鋼針閥控制。通過控制面板上的旋鈕來調節氣體流量。
標準配置	主機1臺，流量計1套、密封法蘭1對，石英管1支，密封圈4個，爐堵2個，坩堝鉤1把，高溫手套1副、拆卸扳手2把、說明書1份、合格證保修卡1份

1、我公司對所供設備提供質保一年保修服務（易損件除外），在保修期內因設備質量原因造成的設備損壞或故障，均予以免費維修。保修期滿后，仍提供終身的、優質的維修服務。
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3、我公司設提供免費的設備操作培訓和簡單故障排除維修培訓。
4、我公司技術人員可提供(產品安裝調試、整機維護、技術講解及操作指導等)。
5、本公司可提供運輸服務，包裝方式均按照標準安全包裝進行。隨機技術資料齊全（用戶手冊、保修手冊、有關資料及配件、隨機工具等）。
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