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行業(yè)產(chǎn)品

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鄭州成越科學(xué)儀器有限公司


當(dāng)前位置:鄭州成越科學(xué)儀器有限公司>>CVD氣相沉積系統(tǒng)>>1500℃單溫區(qū)3路質(zhì)量流量計...

1500℃單溫區(qū)3路質(zhì)量流量計...

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具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號CY-T1500-60IT-3Z-HV

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地

聯(lián)系方式:汪紀(jì)彬查看聯(lián)系方式

更新時間:2023-04-19 07:04:28瀏覽次數(shù):217次

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經(jīng)營模式:其他

商鋪產(chǎn)品:104條

所在地區(qū):

聯(lián)系人:汪紀(jì)彬

產(chǎn)品簡介

簡單介紹: 1500℃單溫區(qū)3路質(zhì)量流量計高真空CVD系統(tǒng)由1500℃單溫區(qū)管式爐、三路質(zhì)量流量計和高真空分子泵組組成。管式爐由精密控溫儀表進行PID控溫,可編輯30段升降溫程序,同時有過熱和斷偶保護功能。爐管兩側(cè)法蘭配有數(shù)字式真空計和機械式壓力表,可以用來控制爐管內(nèi)的氣氛環(huán)境。同時1500℃單溫區(qū)3路質(zhì)量流量計高真空CVD系統(tǒng)管式爐采用高清真......

詳細介紹

詳情介紹:

1500℃單溫區(qū)3路質(zhì)量流量計高真空CVD系統(tǒng)爐管采用高純氧化鋁制成,爐體采用一體式設(shè)計,的設(shè)計能夠保證系統(tǒng)在1500℃運行穩(wěn)定安全,加熱元件采用高品質(zhì)硅碳棒,能夠達到1500℃高溫,若客戶有需求可以定制硅鉬棒加熱元件以達到更高的1700℃高溫。

系統(tǒng)所配有的三路質(zhì)量流量計,精度高可靠性強,可以準(zhǔn)確混合1~3路氣體,操作面板采用數(shù)字顯示,直觀高效。若客戶有特殊需要也可聯(lián)系技術(shù)人員定制任意數(shù)量的氣路。本系統(tǒng)還配有精密分子泵組,可以達到1.0E-3pa級別的真空度,較普通機械泵可以為用戶提供更純凈嚴苛的實驗環(huán)境。

適用于高校、科研院所、工礦企業(yè)做高溫?zé)Y(jié)、金屬退火、質(zhì)量檢測等,尤其適合需要多種氣體混合的氣氛環(huán)境的CVD實驗。

技術(shù)參數(shù):

產(chǎn)品型號

CY-T1500-60IT

爐管材質(zhì)

高純氧化鋁

爐管直徑

60mm(可選配50mm、80mm、100mm)

爐管長度

1000mm

爐膛長度

400mm

加熱區(qū)長

300mm

恒溫區(qū)長

150mm

工作溫度

1450

控溫精度

±1

控溫模式

30段或50段程序控溫

顯示模式

LCD

密封方式

304不銹鋼真空法蘭

法蘭接口

1/4英寸卡套接頭、KF16/25/40接頭

可抽真空

4.4E-3Pa

供電電源

AC:220V 50/60Hz

統(tǒng)

產(chǎn)品型號

CY-3Z

氣體通道

3通道

測量部件

氣體質(zhì)量流量計

測量量程

A通道:0100SCCM    H2

備注:如需其它量程或氣體種類,定貨時需要特別注明。可根據(jù)客戶的具體要求來選配對應(yīng)的氣體種類和量程的流量計。

B通道:0300SCCM    N2

C通道:0500SCCM    Ar

測量精度

±1.0%F.S

管道耐壓

3MPa

工作壓差

50300KPa

連接管道

304不銹鋼

控制閥門

304不銹鋼針閥

接口規(guī)格

進氣口和出氣口為1/4英寸卡套接頭

供電電源

AC:220V 50/60Hz

統(tǒng)

產(chǎn)品型號

CY-GZK103-A

分子泵

CY-600

前極泵

旋片泵

抽氣速率

分子泵:600L/S

綜合抽氣性能:20分鐘真空度可達:1.0E-3Pa

旋片泵:1.1L/S

抽氣接口

KF40

排氣接口

KF16

真空測量

復(fù)合真空計:電阻規(guī)+電離規(guī)

極限真空

1.0E-5Pa

供電電源

AC:220V 50/60Hz


免責(zé)聲明:本站產(chǎn)品介紹內(nèi)容(包括產(chǎn)品圖片、產(chǎn)品描述、技術(shù)參數(shù)等),僅供參考。可能由于更新不及時,會造成所述內(nèi)容與實際情況存在一定的差異,請與本公司銷售人員聯(lián)系確認。本站提供的信息不構(gòu)成任何要約或承諾,本公司會不定期完善和修改網(wǎng)站任何信息,恕不另行通知,請您見諒。


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