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5850EM/5851EM系列金屬密封熱質(zhì)量流量控制器經(jīng)驗(yàn)證長(zhǎng)期穩(wěn)定，超純潔凈體系，適用于高壓應(yīng)用5850EM系列金屬密封熱質(zhì)量流量控制器的性能基于廣泛使用的5850E和i系列MFC，可在潔凈環(huán)境下測(cè)量和控制高壓氣體流量并具有經(jīng)驗(yàn)證的穩(wěn)定性

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5850EM / 5851EM系列金屬密封熱質(zhì)量流量控制器

經(jīng)驗(yàn)證長(zhǎng)期穩(wěn)定，超純潔凈體系，適用于高壓應(yīng)用

5850EM 系列金屬密封熱質(zhì)量流量控制器的性能基于廣泛使用的 5850E 和 i 系列 MFC，可在潔凈環(huán)境下測(cè)量和控制高壓氣體流量并具有經(jīng)驗(yàn)證的穩(wěn)定性。該產(chǎn)品的金屬密封結(jié)構(gòu)和電鍍拋光接液表面可確保出色的流量完整性并有助于整體提升過(guò)程效率，這得益于設(shè)備無(wú)需對(duì)氣體壓力進(jìn)行連續(xù)監(jiān)測(cè)和重新調(diào)節(jié)即可保證流量穩(wěn)定。

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