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昆山熙日機械設備有限公司
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日本愛發科ULVAC渦旋干式真空泵DIS-251維修保養特性：?雙繞式渦旋泵，含1根軌道螺旋和2根固定螺旋
日本愛發科ULVAC渦旋干式真空泵 DIS-251維修保養
特性：
? 雙繞式渦旋泵，含1 根軌道螺旋和2 根固定螺旋。
? 可在大氣壓下實現操作運行。
? 可實現高極限真空。
? 低振動低噪音。
? 維護周期可通過計時表控制。
應用：
? 分析設備 ? 氣體回收系統 ? 涂料設備 | ? TMP 前級泵 ? 氦滲漏探測器 ? 半導體制造工藝 |
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