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MetOne 3400 系列氣體減壓閥

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fjrigjwwe9r1dt_article:contentMetOne3400系列專用高壓氣體擴(kuò)散器（減壓閥）高壓氣體經(jīng)過Diffuser(30~150Psi)調(diào)整至常壓狀態(tài)后再經(jīng)由顆粒計(jì)數(shù)器讀出目前氣體中粒子分布情形，可量測(cè)范圍0.1um-5um

詳細(xì)介紹

MetOne 3400系列專用高壓氣體擴(kuò)散器（減壓閥）
高壓氣體經(jīng)過 Diffuser (30~150 Psi) 調(diào)整至常壓狀態(tài)后再經(jīng)由顆粒計(jì)數(shù)器讀出目前氣體中粒子分布情形，可量測(cè)范圍0.1um-5um。應(yīng)用于半導(dǎo)體廠、光電廠中高壓氣體如PN2、O2、H2、CDA等。

Specifications

Specifications are subject to change without notice.

Specification

Details

Dimensions (L x D)

19.1 x 5.7 cm (7.5 x 2.25 in.)

Material

Nickel-plated aluminum and stainless steel

Weight

0.57 kg (1.25 lb)

Pressure range

0.1 CFM, 1.0 CFM or 50 LPM diffuser: 206–1034 kPa (30–150 psig)
100 LPM diffuser: 344–1034 kPa (50–150 psig)

Flow rate

0.1 CFM, 1.0 CFM, 50 LPM or 100 LPM

Sample gas

Dry, inert and non-toxic

Inlet connector

Stainless #4 VCR fitting (modified)

Outlet connector

0.1 CFM diffuser: Stainless #4 VCR fitting (modified)
1.0 CFM or 50 LPM diffuser: 3/8-in. barb fitting
50 or 100 LPM diffuser: ?-in. barb fitting (for 3445 and older 342x units)

Orifice material

Sapphire (at the inlet end)

Exhaust port

?-in. NPT

關(guān)鍵詞：減壓閥顆粒計(jì)數(shù)器

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