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上海華械自動化設備有限公司
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EX250S-RJ系列-小體積高精度氣體質量流量控制器
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| EX250S-RJ系列質量流量控制器-數字式 | ||
| 量程(N2) | 0-10、30、50、100、300、500SCCM 0-1、3、5、10SL.M(可定制o-5sccM) 滿量程可切換30~99% | ||
| 氣體 | 非腐蝕氣體 | ||
| 精度 | +1.0KSP (>30FS);0.3%6Fs(30FS) | ||
| 重復性 | 士0.25FS | ||
| 有效范圍 | 2-99% | ||
| 響應時間 | 1秒以內 | 1.5秒以內 | 2秒以內 |
| 耐壓 | 1.0Mpa | ||
| 進口壓力 | 0.5Mpa | ||
| 工作壓差 | 0.05-0.3Mpa | ||
| 泄漏率 | 1+10-8pa - m2/s以下 | ||
| 溫度范圍 | 5~50℃ | ||
| 精度保證溫度 | 15~35℃ | ||
| 保存溫度 | -10~60℃ | ||
| 濕度范圍 | 10-90%RH(不能結露) | ||
| 材質 | 本體SUS316、SuS316L | ||
| 密封圈VITON、NBR、PTFE | |||
| 電氣接口 | DB9 | ||
| 通訊接口 | RS485 (Modbus-RTU)RJ45接口 | ||
| 輸入信號 | 0-5V或4-20mA可選 | ||
| 輸出信號 | 0-5V或4-20mA可選 | ||
| 供電 | +24VDC或±15VDc可選 | ||
| 消耗電路 | 300mA | ||
| 尺寸 | 76+30+76MM | ||
| 管路連接 | 標配1/4F9 | ||
| 選配1/8F9、1/4IJR、RC1/4 | |||
| 重量 | 約500g | ||
DB9針腳定義：
| 針腳/顏色 | 定義 |
| 1針腳/棕色 | 閥門全開/全閉 |
| 2針腳/白色 | 0-5V輸出 |
| 3針腳/紅色 | +15VDC或+24VDC |
| 4針腳/黑色 | 電源COM |
| 5針腳/黃色 | -15VDC 或 空 |
| 6針腳/灰色 | 0-5V輸入 |
| 7針腳/綠色 | 輸出COM |
| 8針腳/蘭色 | 輸入COM |
| 9針腳/紫色 | 空 |
RJ45針腳定義：150SLM以下(通訊用)
| 針腳 | 定義 |
| 1針腳 | 485COM |
| 2針腳 | 485COM |
| 3針腳 | 空 |
| 4針腳 | 485- |
| 5針腳 | 485+ |
| 6針腳 | 空 |
| 7針腳 | 空 |
| 8針腳 | 空 |
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