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MKS GE250A和GE300A質量流量控制器

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更新時間：2023-10-21 12:21:01瀏覽次數：258次

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產品簡介

多氣體，多量程，彈性體密封的100至300slm質量流量控制器G系列GE250A和GE300A質量流量控制器是通用的，彈性體密封的MFC，適用于多種應用

詳細介紹

多氣體，多量程，彈性體密封的100至300slm質量流量控制器

G系列GE250A和GE300A質量流量控制器是通用的，彈性體密封的MFC，適用于多種應用。GE250A的滿量程范圍為100到250 slm（相當于N ₂）。GE300A的滿量程范圍為150到300 slm（相當于N ₂）。利用的控制算法，對模擬I / O或數字I / O均可用，以快速，可重復地響應設定值。

· 流速從100到300 slm

· Viton，Buna，氯丁橡膠或EPDM的密封件和閥塞選件

· 多種數字（ItherCAT，DeviceNet™，Profibus®，PROFINET和RS485）或模擬（0-5 VDC或4-20 mA）I / O

· 標準閉合電導泄漏率小于滿量程的1.0％

· 1-2秒建立時間