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NTW 120HC PFCs Gas Scrubber尾氣處理裝置（韓國(guó) NEW TECH WAVE）

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NTW 120HC PFCs Gas Scrubber尾氣處理裝置（韓國(guó) NEW TECH WAVE）

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品特點(diǎn)

- Process gas / PFCs gas 同時(shí)處理和 PFC 高處理率
Dry (or Wet) & Catalytic Reactor 一體型 (Almighty Type)
Halogen gas (TLV 以下) / PFCs gas (清除率 95% 以上)
催化研究的驗(yàn)證保有多項(xiàng)數(shù)據(jù)/ 高清除率和信賴度。
現(xiàn)有Wet 方式處理Cl2 較困難，催化 PFC Cl2 在水中可以容易的轉(zhuǎn)變?yōu)榭煞纸獾腍CL并清理。

- 反應(yīng)附帶生成物的可能性低
催化反應(yīng)可以抑制附產(chǎn)物的生成不會(huì)產(chǎn)生燃燒方式中生成的 2種污染物質(zhì) Thermal NOx 和

CO, COF2 等附帶產(chǎn)物符合環(huán)境的工藝。

- 催化分解專用減少了能源費(fèi)用和 Running Cost 減少
與氧化方式直接比起來更低的溫度 (CF4:700℃ , NF3 : 400℃)的反應(yīng) :

減少了能源費(fèi)用/ 減少了Running Cost。
- 防止了排管腐蝕
Scrubber 從后端進(jìn)入的微量的 HF 和水分利用高溫吸附劑清除: 防止了HF與水分反應(yīng)后對(duì)排

管的腐蝕。

- 無排水化 (催化-Dry)
催化反應(yīng)在后端設(shè)置了 Dry Canister (高溫吸附劑) 可以的清除反應(yīng)附帶生成物: 免排水

工藝。

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