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OKAMOTO GNX300B晶圓研磨機

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產品型號

品       牌

廠商性質其他

所  在  地上海

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更新時間:2024-06-12 09:23:37瀏覽次數:161次

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產品簡介

OKAMOTOGNX300B晶圓研磨機特點:GNX300B擁有BG研磨技術

詳細介紹

OKAMOTO GNX300B晶圓研磨機特點: 


GNX300B擁有BG研磨技術。

日本機械學會授予岡本標準傳送方式及向下研磨方法技術獎

主軸機械精度可調

岡本自產鑄金一體化結構,不易老化,精度持久

潤滑系統有完善防護,避免異物進入造成磨損

適用晶圓尺寸:6"、8"、12"     晶圓厚度: 1000μm

可切換全自動、半自動操作模式

17 寸觸控操作與監控屏,監控氣壓、電流、水流、厚度等

研磨耗材損耗小,加工成本低廉

研磨硅屑細小,沖洗更干凈



OKAMOTO GNX300B晶圓研磨機規格參數:


規格

GNX200B

GNX300B

加工直徑

Ф200㎜

Ф300㎜

主軸轉速范圍

0~3600rpm

0~3000rpm

主軸驅動電機功率

2.2kW/4kW

5.5kW/4kW

主軸進給速度范圍

1~999μm/min

主軸數

2

工作盤轉速范圍

1~300rpm

研磨輪尺寸

Ф250㎜

Ф300㎜

設備整重

3900kg

5700kg




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