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成都眾儀科技有限公司
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Polaris-C-4(閉循環)特點：載物Chuck溫度范圍：10K-500K載物chuck可到4英寸制冷功率：1W@4
| Polaris-C-4(閉循環)特點： 載物Chuck 溫度范圍：10K-500K 載物chuck 可到4英寸 制冷功率：1W@4.2K 探針振動抑制：< +/- 60 nm in 30 mins 雙屏蔽chuck高低溫時達到100FA 的測試精度 可以選擇射頻配件做67 GHz的射頻測試 可以選擇防震桌 可以選擇超高真空腔體,極限真空到10-10 torr 客戶訂制 | ||||||||||||||||||||||||||||||
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| 溫控規格:
可選附件 防震桌 內置/外置探針臂 顯微鏡 方形chuck 分子泵組 射頻部件 Chuck可外部移動裝置 高真空腔體 客戶定制。 |
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