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上海正晞儀器設備有限公司
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大平臺硅片檢測顯微鏡ZXGP-800系列
一、儀器的用途：
ZXGP-800研究級大平臺硅片顯微鏡主要用于半導體硅片的觀察。它能生產高清晰的圖像,立體感較強，成像較清晰和寬闊，又具有長工作距離，并具有較大的視場范圍和相應的放大倍數,配有高像素的數碼攝像頭,可以很清楚地看到硅片的"金字塔" 的微觀形貌分布情況,及硅片的缺陷分析服務.是太陽能電池硅片的普遍專用顯微鏡，在半導體行業有廣泛應用。
大平臺硅片檢測顯微鏡可以觀察到太陽能電池硅片肉眼難觀測的位錯、劃痕、崩邊等;還可以對硅片的雜質、殘留物成分分析.雜質包括 顆粒、有機雜質、無機雜質、金屬離子、硅粉粉塵等，造成磨片后的硅片易發生變花、發藍、發黑等現象，使磨片不合格, 是太陽能電池硅片生產企業進行質量控制普通的儀器。
二、系統簡介
大平臺硅片顯微鏡系統是將傳統的光學儀器與計算機（數碼相機）通過光電轉換器有機地結合在一起，能在計算機（數碼相機）顯示屏幕上觀察實時動態圖像，并能將所需要的圖片進行編輯、保存和打印。
三、技術參數、
1.目鏡
類 型 | 放大倍數 | 視場（mm） |
大視野目鏡 | 10X | Φ22 |
2.物鏡
類 型 | 放大倍數 | 數值孔徑（NA） | 工作距離（mm） |
無限遠平場消色差物鏡(明/暗場物鏡） | 4X | 0.1 | 17.80 |
10X | 0.25 | 10.00 | |
20X | 0.40 | 5.10 | |
40X | 0.60 | 2.90 |
3.光學放大倍數：40X-400X（選配鏡頭可到1000X）
4.三目頭: 30?傾斜, 可全通光攝影
5.轉換器：四孔內向式滾珠內定位
6.載物臺：三層機械移動式尺寸: 300mm×268mm，移動范圍250mm×200mm
7.調焦機構：粗微動同軸調焦,帶鎖緊和限位裝置,微動格值:0.7μm
8.落射照明系統: 6V 20W 鹵素燈, 亮度與燈炮位置可調,
內置視場光欄、孔徑光欄、推拉式檢偏器與起偏器,
9.濾色片：黃、藍、綠、磨砂玻璃濾色片轉換裝置
10.*防霉系統
四、系統組成
ZXGP-800型：1.硅片顯微鏡 2.適配鏡 3.攝像器（CCD） 4.圖像采集卡 5.軟件
五、選購件
1.目鏡： 10X(分劃） 2.物鏡： 50X 60X 100X（干）
3.成像系統 4.專業軟件
5.配套電腦
1.目鏡
類 型 | 放大倍數 | 視場（mm） |
大視野目鏡 | 10X | Φ22 |
2.物鏡
類 型 | 放大倍數 | 數值孔徑（NA） | 工作距離（mm） |
無限遠平場消色差物鏡(明/暗場物鏡） | 5X | 0.12 | 8.05 |
10X | 0.25 | 7.86 | |
20X | 0.40 | 7.23 | |
50X | 0.70 | 1.75 | |
80X | 0.80 | 0.80 |
3.光學放大倍數：50X-800X
4.三目頭: 30?傾斜, 可99%通光攝影
5.轉換器：五孔內向式滾珠內定位
6.載物臺：三層機械移動式尺寸: 280mmX270mm,移動范圍: 204mmX204mm
7.調焦機構：粗微動同軸調焦,帶鎖緊和限位裝置,微動格值:0.7μm
8.落射照明系統: 15V 50W 鹵素燈, 亮度與燈炮位置可調,
內置視場光欄、孔徑光欄、推拉式檢偏器與起偏器,
9.濾色片：黃、藍、綠、磨砂玻璃濾色片轉換裝置
10.*防霉系統
四、系統組成
ZXGP-800型：1.硅片顯微鏡 2.適配鏡 3.攝像器（CCD） 4.圖像采集卡 5.軟件
五、選購件
1.目鏡： 10X(分劃）
2.物鏡： 40X 60X 100X（干）
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