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SPEshowashinku盒對盒式干法蝕刻裝置 濺射和離子板
參考價: 660000
訂貨量: 1000
具體成交價以合同協議為準
  • SPE 產品型號
  • 其他品牌 品牌
  • 經銷商 廠商性質
  • 深圳市 所在地

訪問次數:685更新時間:2023-04-11 15:13:14

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產品簡介
產地 國產
showashinku盒對盒式干法蝕刻裝置 濺射和離子板SPE
真空室主要是配備運輸機器人的運輸室,由蝕刻室和盒室三個房間組成。
真空室材料由A5052制成,A5052對運輸室,蝕刻室和盒室都進行了脫脂處理。
產品介紹

showashinku盒對盒式干法蝕刻裝置 濺射和離子板SPE

showashinku盒對盒式干法蝕刻裝置 濺射和離子板SPE

特征
1.緊湊型設備
尺寸(1000mmW×1100mmD×1600mmH)
2.單晶圓系統,生產率高,是批量生產的理想選擇
3.加工質量高

?單晶圓類型確保高蝕刻均勻性。

?背面采用非接觸式氣冷系統,不會損壞基板背面
4.采用高真空排氣裝置
5.高可維護性

?真空室的小型化便于維護
6.由于設備外形緊湊,安裝位置沒有限制
1.設備配置

真空室主要是配備運輸機器人的運輸室,由蝕刻室和盒室三個房間組成。
真空室材料由A5052制成,A5052對運輸室,蝕刻室和盒室都進行了脫脂處理。
2.排氣系統

渦輪分子泵1套(蝕刻室)
旋轉泵2套(蝕刻室、盒式室和運輸室組合)
3.性能

極限壓力2.7×10-3Pa以下(蝕刻室)
排氣時間3分鐘內至0.10×2-2Pa(蝕刻室)
蝕刻深度65nm *配對BK7玻璃(使用φ3英寸或φ4英寸基板時)
蝕刻分布±5%以內 *保修區域:50×50mm以下
循環時間300秒(24張/ 1盒,φ3或φ4英寸板)*參考值
4.供電系統

射頻電源最大 500W (13.56兆赫)
匹配盒全自動匹配規格
5.氣體引入系統

CF/SF、氦、O2 質量流量控制器 3
6.控制系統

使用定序器可以進行全自動操作。
處理的基板數量始終顯示在觸摸屏上,并且可以從最新的開始檢查錯誤歷史記錄。
7.外部尺寸

設備本體 1000mmW×1100mmD×1600mmH
設備重量 1000Kg
8.公用事業

電力200V 3φ 50/60Hz 12KVA
冷卻水
壓縮空氣0.5兆帕 20升/分鐘
N2氣體0.3兆帕 60升/分鐘






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