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深圳九州工業品有限公司
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產品簡介
集成控制器
最大可用于 Ø3 英寸基板
最高轉速 3000rpm
最多可同時處理5張
轉速監視器
自動停止定時器
加工數據存儲功能
產品介紹
technofine沉積裝置 原子層沉積 壓力控制 流量控制TFALD-201
technofine沉積裝置 原子層沉積 壓力控制 流量控制TFALD-201
性能規格
| 模型 | SD-20S |
|---|---|
| 工作尺寸 | 20 平方毫米 |
| 最大轉速 | 3500轉 |
| 界面 | 手動控制無級調節 |
| 安全機制 | 亞克力罩 |
一般規格
| 舞臺材料 | 氟樹脂 |
|---|---|
| 階段直徑 | ?90mm |
| 外形尺寸（寬x深x高） | 160×180×150mm |
| 重量 | 約4公斤 |
| 輸入功率 | AC100V 50/60Hz |
| 公用事業 | - |
| 配件 | 操作說明 |
| 選項 |
|
性能規格
| 模型 | SD-20SE |
|---|---|
| 工作尺寸 | 20mm方板 |
| 最大轉速 | 4000轉 |
| 界面 |
|
| 顯示功能 | 帶背光的液晶顯示器 |
| 安全機制 | 亞克力罩 |
| 功能 |
|
集成控制器
最大可用于 ?3 英寸基板
最高轉速 3000rpm
最多可同時處理5張
轉速監視器
自動停止定時器
加工數據存儲功能
性能規格
| 模型 | SD-300 |
|---|---|
| 工作尺寸 | ?3" 或更小 |
| 最大轉速 | 3000轉 |
| 界面 | 觸控面板 |
| 安全機制 | 旋轉中蓋開閉檢測停止 |
| 功能 |
|
一般規格
| 舞臺材料 | 氟樹脂 |
|---|---|
| 階段直徑 | ?250mm |
| 外形尺寸（寬x深x高） | 380×380×435mm |
| 電源電壓 | AC100V 50/60Hz |
| 公用事業 | 泄油口 x 1 (Rc1/2) |
| 配件 |
|
性能規格
| 模型 | SD-300CS |
|---|---|
| 工作尺寸 | ?3" 或更小 |
| 最大轉速 | 3000轉 |
| 界面 | 觸控面板 |
| 安全機制 | 通過開/關傳感器自動停止功能 |
| 功能 |
|
一般規格
| 舞臺材料 | 氟樹脂 |
|---|---|
| 階段直徑 | ?250mm |
| 外形尺寸（寬x深x高） |
|
| 輸入功率 | AC100V 50/60Hz |
| 公用事業 | 泄油口 x 1 (Rc1/2) |
