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愛德華Edwards iXL120 干式真空泵

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iXL高性能干式真空泵機(jī)組iXL系列干泵滿足平板顯示器(FPD)、半導(dǎo)體和太陽(yáng)能制造市場(chǎng)領(lǐng)域涉及的所有排氣要求

詳細(xì)介紹

iXL 高性能干式真空泵機(jī)組

iXL 系列干泵滿足平板顯示器 (FPD)、半導(dǎo)體和太陽(yáng)能制造市場(chǎng) 領(lǐng)域涉及的所有排氣要求。

這些性能的泵旨在限度地提高基板吞吐量，同時(shí)盡可能降低功耗、占地面積和重量。此外，大修間隔期內(nèi)無(wú)須維護(hù)。

iXL120：緊湊型低能量的 110 m3/h 干泵，用于晶圓加工和其他清潔工作應(yīng)用。它可快速抽空負(fù)載鎖定艙室，能耗極低。可用于負(fù)載鎖定和清潔應(yīng)用的最小且最輕的泵之一。其低振動(dòng)和低噪聲級(jí)的優(yōu)點(diǎn)使其適合于安裝在機(jī)臺(tái)上或工廠的夾心層中，從而有助于節(jié)省寶貴的工廠地面空間。環(huán)保模式可在空閑期間降低設(shè)備使用率，從而降低使用成本，有助于保護(hù)環(huán)境。

關(guān)鍵詞：干式真空泵顯示器

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