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上海載德半導體技術有限公司
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產品概要： VS5電阻式熱蒸發鍍膜機是英國牛津真空公司生產，臺式設計、軟件自動操控、高性價比，非常適合實驗室科研使用。通過加熱蒸發某種物質使其沉積在固體表面，稱為熱蒸發鍍膜，熱蒸發鍍膜技術是歷史最悠久的PVD鍍膜技術之一。熱蒸發鍍膜機一般主要用于蒸發Cd、Pb、Ag、Al、Cu、Cr、Au、Ni等材料。以下為蒸發鍍膜設備的示意圖。
VS5電阻式熱蒸發鍍膜機是英國牛津真空公司生產，臺式設計、軟件自動操控、高性價比，非常適合實驗室科研使用。
通過加熱蒸發某種物質使其沉積在固體表面，稱為熱蒸發鍍膜，熱蒸發鍍膜技術是歷史最悠久的PVD鍍膜技術之一。熱蒸發鍍膜機一般主要用于蒸發Cd、Pb、Ag、Al、Cu、Cr、Au、Ni等材料。以下為蒸發鍍膜設備的示意圖。
技術規格：
- 基底尺寸：3英寸，4英寸，6英寸；
- 基底旋轉：0~10rpm；
- 熱蒸發源：電阻式熱蒸發舟，交流電源；
- 腔體：不銹鋼或石英腔體可供客戶選擇；
- 泵：前級干泵，分子泵；
- Load Lock樣品傳輸腔室：手動或自動傳輸，高真空，支持多種樣品襯底(選配)；
- 工藝控制：PC/PLC機制的自動控制、數據處理、遠程支持；
- 原位監控：石英晶振監測(QCM)，光學監測，殘余氣體分析，其他原位監測技術或控制；
- 襯底固定：單襯底固定，客戶化襯底固定方式；
- 襯底夾具：加熱，冷卻，偏置，旋轉等；
參考用戶：
清華大學、廣東工大、深圳大學、蘭州理工大學等。
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