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北京艾若泰克科技有限公司
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在許多過濾器測試標準中，建議使用低蒸汽壓的液體（如DEHS、PAO或石蠟油）來測試氣溶膠的產生，以獲得足夠長的液滴壽命。然而，在某些情況下或對于一些材料，此類試驗氣溶膠不適用。這有兩個原因：使用這些氣溶膠測試的過濾器會逐漸釋放出可導致關鍵區域污染的測試物質（特別是在半導體和航空航天行業）。此外，氣溶膠可導致過濾材料的結構變化。通過使用固體氣溶膠，可以消除這些缺點，通常建議使用由單分散聚苯乙烯乳膠顆......
ATM240/L霧化氣溶膠發生器用于從PSL懸浮液（聚苯乙烯乳膠粒子）中產生干燥的PSL測試氣溶膠。
在許多過濾器測試標準中，建議使用低蒸汽壓的液體（如DEHS、PAO或石蠟油）來測試氣溶膠的產生，以獲得足夠長的液滴壽命。然而，在某些情況下或對于一些材料，此類試驗氣溶膠不適用。這有兩個原因：使用這些氣溶膠測試的過濾器會逐漸釋放出可導致關鍵區域污染的測試物質（特別是在半導體和航空航天行業）。此外，由于化學作用，氣溶膠可導致過濾材料的結構變化（例如，DEHS與PTFE的組合）。通過使用固體氣溶膠，可以消除這些缺點。為此，通常建議使用由單分散聚苯乙烯乳膠顆粒組成的氣溶膠（ISO 29463-3、ISO 29463-4、EN 1822-4）。
圖1 霧化氣溶膠發生器ATM 240/L（用于產生高濃度PSL氣溶膠）
l 用惰性固體氣溶膠測試PTFE膜
l 測試航空航天和半導體行業的特殊過濾器
l 根據ISO 29464-4（原EN 1822-4）附錄D對HEPA過濾器進行泄漏測試
l 生成由單分散聚苯乙烯乳膠球組成的測試氣溶膠
l 與其他氣溶膠發生器相比，此發生器產生具有低擴散體積的高濃度PSL試驗氣溶膠
l 集成的氣溶膠干燥，限度地減少對額外技術設備的需求
l 單個測試啟動/停止操作
ATM 240/L配備了渦流狹縫噴嘴，該噴嘴供應氣溶膠物質（PSL分散體）和壓縮空氣。從噴嘴狹縫處出來的液滴氣溶膠中，粗液滴最初由于慣性而分離。更細的液滴通過特殊的渦流環分布在氣溶膠腔室中。壓縮空氣將逐漸干燥的氣溶膠帶走。在離開發生器之前，氣溶膠顆粒會暴露在干燥空氣中，以確保在發生器出口處形成干燥穩定的氣溶膠。
圖2 ATM240/L霧化發生器的工作原理
PSL分散體/懸浮液的噴霧和干燥不僅會產生所需的PSL顆粒，還會產生干燥殘留物，這歸因于PSL分散體/懸浮液的穩定劑。由于它們的尺寸小（<100 nm），這些殘留物無法用光學粒子計數器檢測到，因此與過濾器測試無關。
圖3 PSL試驗氣溶膠（178nm，5wt.-%水分散體）的粒徑分布，包括納米范圍（<100 nm）內的
細顆粒物（干燥殘留物）和光學粒子計數器相關范圍內的PSL峰值（通過微分電遷移率分析檢測）
試驗氣溶膠的性質主要取決于所用PSL原料分散液和樣品制備。如果樣品中存在團聚體（雙團聚體、三團聚體）并干擾分析，則可在使用前通過超聲波對分散體/懸浮液進行處理。一旦樣品分散，PSL顆粒在分散/懸浮液中成為個體顆粒。
l EAN581，用于氣溶膠的靜電中和
l UDS751，用于PSL懸浮液超聲分散
設定參數 | 噴嘴壓力 |
設定范圍 | 750～2500hPa |
分辨率 | 連續 |
流量 | 10～24m3/h |
質量流量 | 130 g/h（發散） |
粒子產生速率 ＜0.1um | 5%(w/w),PSL,178nm ≤4×109 #/s |
氣溶膠物質 | PSL分散體 |
粒徑范圍 | 0.05～0.75um（取決于氣溶膠物質） |
容積 | 100～400mL |
氣溶膠出口 | φ25.4mm（內部） |
電源 | 24V,2A |
功耗 | ＜5W |
壓縮空氣 | 6 bar, 25 m3/h,（除油干燥） |
尺寸(w×h×d) | 900×400×300 mm |
重量 | 25kg |
依據標準 | VDI 3491-2, DIN EN 1822-4 |
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