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蘇州紐銘科學儀器有限公司


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超高分辨場發射掃描電子顯微鏡SU8600系列

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產品型號

品       牌

廠商性質其他

所  在  地蘇州市

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更新時間:2024-03-18 22:04:03瀏覽次數:277次

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聯系人: 陳經理

產品簡介

SU8600系列秉承了Regulus8200系列的高質量圖像、大束流分析及長時間穩定運行的冷場成像技術,同時還大大提升了高通量、自動數據獲取能力。

詳細介紹

隨著快速數據采集和數據處理技術的發展,電子顯微鏡進入了一個不僅重視數據質量,而且重視其采集過程的時代。SU8600系列秉承了Regulus8200系列的高質量圖像、大束流分析及長時間穩定運行的冷場成像技術,同時還大大提升了高通量、自動數據獲取能力。

*設備照片包含選配項。

特點

超高分辨成像

日立的高亮度電子源可保證了即使在超低著陸電壓下,也可獲得超高分辨的圖像。

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0.8 kV電壓條件下觀察RHO型沸石的實例。左圖為顆粒整體的形貌,右圖為放大圖像,顆粒表面細微的臺階結構清晰可見。低電壓觀察對于減少電子束損傷和獲取表面形狀信息較為有效。

樣品提供:日本工業技術綜合研究所 上村 佳大 先生

高襯度的低加速電壓背散射圖像

3D NAND截面觀察;
在低加速電壓條件下,背散射電子信號能夠明顯的顯示出氧化硅層和氮化硅層的襯度差別。

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3D NAND截面觀察(加速電壓:1.5kV)


快速BSE圖像:新型閃爍體背散射電子探測器(OCD)*

由于使用了新型的OCD探測器,即使掃描時間不到1秒,也仍然可以觀察到Fin-FET清晰的深層結構圖像.

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5納米制程SRAM的內部結構觀察 (加速電壓:30kV,掃描時間<1秒)


的自動化功能*

EM Flow Creator 允許客戶創建連續圖像采集的自動化工作流程。EM Flow Creator將不同的SEM功能定義為圖形化的模塊,如設置放大倍率、移動樣品位置、調節焦距和明暗對比度等。用戶可以通過簡單的鼠標拖拽,將這些模塊按邏輯順序組成一個工作程序。經過調試和確認后,該程序便可以在每次調用時自動獲得高質量、重現性好的圖像數據。

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靈活的用戶界面

原生支持雙顯示器,提供靈活、高效的操作空間。6通道同時顯示與保存,實現快速的多信號觀測與采集。

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1,2,4 或6通道信號可在同一個顯示器上同時顯示,可切換內容包括SEM各探測器以及樣品室相機和導航相機。可以通過使用兩個顯示器來擴展工作空間,可定制的用戶界面以提高工作效率。

規格

機型SU8600 系列
電子光學系統二次電子像分辨率0.6 nm@15 kV
0.7 nm@1 kV *
放大倍率20 to 2,000,000 x
電子槍冷場發射電子源,支持柔性閃爍功能,包含陽極烘烤系統。
加速電壓0.5 to 30 kV
著陸電壓 *0.01 to 20 kV
探測器(部分為選配項)上探測器(UD)
UD ExB能量過濾器,包含SE/BSE信號混合功能
下探測器(LD)
頂探測器(TD)
TD能量過濾器
鏡筒內背散射電子探測器(IMD)
半導體式背散射電子探測器 (PD-BSED)
新型閃爍體式背散射電子探測器(OCD)
陰極熒光探測器(CLD)
掃描透射探測器(STEM Detector)
附件(部分為選配項)導航相機、樣品室相機、X射線能譜儀(EDS)、背散射電子衍射探測器(EBSD)
軟件(部分為選配項)EM Flow Creater、HD Capture( 40,960×30,720 像素)
樣品臺馬達驅動軸5軸馬達驅動(X/Y/R/Z/T)
馬達驅動軸X:0~110 mm
Y:0~110 mm
Z:1.5~40 mm
T:-5~70°
R:360°
樣品室樣品尺寸直徑:150 mm

*減速模式下




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