南京酸堿廢水處理設(shè)備一體化污水凈化裝置

浸沒燃燒高溫結(jié)晶法其原理就是將煤氣燃燒所產(chǎn)生的高溫氣體直接噴入待蒸發(fā)的廢液中，去除了酸堿廢水中的水分，然后對酸類物進(jìn)行濃縮回收，其回收的酸濃度搞到42.6%左右。

　　因是酸堿廢水，所以對于廢水處理設(shè)備的腐蝕性會高一些，而且主要是那些可燃?xì)怏w，一般適用量比較大的廢水行業(yè)。

　　3、真空濃縮和自然結(jié)晶法：

　　這種主要是利用真空濃縮和自然結(jié)晶法，進(jìn)而蒸發(fā)水分，將其酸類物質(zhì)進(jìn)行濃縮回收。

　　相對對于浸沒燃燒高溫結(jié)晶法，這種方法的回用再生酸濃度比較低，在18%～20%之間，但是這種的自動化程度高，對于酸霧問題方便解決。

離子交換樹脂法

離子交換樹脂法處理有機(jī)酸廢液的基木原理是利用某些離子交換樹脂可從廢酸溶液中吸收有機(jī)酸而排除無機(jī)酸和金屬鹽的功能來實(shí)現(xiàn)不同酸及鹽之間分離的一種方法。

例如β-萘磺酸(NSA)，NSA為重要的染料中間體，大量的β-萘磺酸廢液會在生產(chǎn)中產(chǎn)生。該廢液COD值高、色度深、pH=2、含1%左右H2SO4，屬極難處理的有機(jī)廢液之一。由弱堿性陰離子樹脂分離β-萘磺酸中利用高選擇性、高吸附容量，易再生的Indion860樹脂處理該廢液，可有效地將β-萘磺酸分離出來。

離子交換法是除硫酸根的技術(shù)，去除硫酸鹽所用的離子交換樹脂為LewatitE304／88，其官能團(tuán)為聚酰胺。測試結(jié)果表明。氯化鈉的質(zhì)量濃度為100～150gm時，經(jīng)過E304／88樹脂交換。鹽水中的硫酸鹽的質(zhì)量濃度降為約0.2g／L。當(dāng)硫酸鹽的質(zhì)量分?jǐn)?shù)達(dá)到約50％時交換周期完成，其交換容量約達(dá)15g／L樹脂，然后用精鹽水返洗樹脂。流出的硫酸鹽可以冷凍生產(chǎn)，也可不經(jīng)回收直接排放掉。

鹽析循環(huán)利用

所謂鹽析就是使用大量飽和食鹽水將廢酸中的各種有機(jī)雜質(zhì)幾乎全部析出。但是這種方法會產(chǎn)生鹽酸，影響廢酸中硫酸的回收利用，因此研究了用硫酸氫鈉飽和溶液進(jìn)行鹽析除去廢酸中有機(jī)雜質(zhì)的方法。

廢酸中含有硫酸和各種有機(jī)雜質(zhì)，有機(jī)雜質(zhì)主要是少量6-氯-3-硝基甲苯-4磺酸和甲苯在磺化、氯代及硝化過程中產(chǎn)生的除6-氯-3-硝基甲苯-4-磺酸以外的各種異構(gòu)體。鹽析法就是使用大量飽和食鹽水可以將廢酸中的各種有機(jī)雜質(zhì)幾乎全部析出。

鹽析循環(huán)利用法既可以出去廢酸中的各種有機(jī)雜質(zhì)，還可以回收硫酸以投入循環(huán)生產(chǎn)，節(jié)約成本和能源。

焙燒發(fā)應(yīng)用于鹽酸這樣揮發(fā)性酸，通過焙燒使其從溶液中分離以達(dá)到回收效果。

噴霧焙燒法處理鹽酸洗滌廢液及其再生回收中經(jīng)濾罐過濾的鹽酸廢液打入預(yù)濃縮塔，在塔內(nèi)經(jīng)焙燒爐的余熱循環(huán)加熱濃縮。濃縮液達(dá)到預(yù)定的濃度后泵入焙燒爐，通過噴槍使其呈霧狀從爐頂部噴入爐內(nèi)。

霧化鹽酸廢液在爐內(nèi)受熱分解成氯化氫氣體和氯化亞鐵，后者在高溫下被進(jìn)入爐內(nèi)的空氣氧化成氧化鐵。一部分氧化鐵落到爐底，另一部分與氯化氫氣體從爐頂經(jīng)旋風(fēng)分離器分離，氯化氫排入下道生產(chǎn)工序待處理，氧化鐵則經(jīng)旋風(fēng)分離器分離后進(jìn)入噴霧焙燒爐底部。

氧化鐵經(jīng)排風(fēng)機(jī)排入布袋除塵器后進(jìn)入氧化鐵粉料倉。含有氯化氫的氣體流經(jīng)旋風(fēng)分離器進(jìn)入預(yù)濃縮塔。己經(jīng)冷卻后的氣體從預(yù)濃縮塔底部排入吸收塔頂部。氣體中的氯化氫被吸收塔頂部呈噴霧狀的洗滌水吸收，在塔底形成再生鹽酸。

采用噴霧焙燒法處理鹽酸酸洗廢液具有較好的環(huán)境和經(jīng)濟(jì)效益，該方法不產(chǎn)生新的污染物，排放的尾氣也能夠達(dá)標(biāo)。同時，回收的鹽酸可以循環(huán)使用，F(xiàn)e2O3粉可以作為生產(chǎn)顏料的原料，還是生產(chǎn)軟磁、永磁等磁性材料的主要原料，不僅消除了其對水資源及土壤的危害，同時實(shí)現(xiàn)了資源回收再生，滿足了可持續(xù)發(fā)展的要求。

電子半導(dǎo)體行業(yè)酸堿性廢氣處理方法，推薦使用噴淋塔。這是因?yàn)榘雽?dǎo)體制造中產(chǎn)生的酸性和堿性廢氣采用分別收集、分別處理的方法，但處理設(shè)備和處理原理基本相同。

對于含有 酸性／堿性物質(zhì)的廢氣，大都采用大型洗滌式中央廢氣處理系統(tǒng)進(jìn)行處理。但是，有些情況下，由于半導(dǎo)體制造工作區(qū)域離中央廢氣處理系統(tǒng)距離較遠(yuǎn)，因此部分酸性／堿性廢氣在輸送至中央廢氣處理系統(tǒng)前，常因氣體特性導(dǎo)致在管路中結(jié)晶或粉塵堆積，造成管路堵塞后導(dǎo)致氣體外泄，嚴(yán)重者甚至引發(fā)爆炸，危害現(xiàn)場工作人員的工作安全。

因此，在工作區(qū)域需配置適合制程氣體特性的就地廢氣處理設(shè)備進(jìn)行就地處理，之后再排入中央處理系統(tǒng)，而一些特殊的廢氣，包括劇毒、自燃、易爆等廢氣則需要先通過干式洗滌塔等設(shè)備通過吸附或氧化／燃燒等方法就地處理，之后再排人中央廢氣處理系統(tǒng) 。

南京酸堿廢水處理設(shè)備一體化污水凈化裝置

電子半導(dǎo)體行業(yè)中酸堿性廢氣的來源為化學(xué)清洗站，具有刺激性及有害人體，故酸堿性廢氣的處理方法一般是以濕式洗滌塔做水處理后再排入大氣。洗滌塔利用床體或濕潤的表面可以去除0.1微米以上的粒子。其氣體與液體的接觸方式有交叉（垂直交叉）流式、同向流式及逆向流式三種，而水流的設(shè)計(jì)上，有噴嘴式，噴霧式，頸式及拉西環(huán)式等四種。

2、以下半導(dǎo)體企業(yè)生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的廢氣均可處理：

? 集成電路生產(chǎn)企業(yè)：主要包括數(shù)字集成電路板及模擬集成電路板生產(chǎn)企業(yè)。

? 分立器件生產(chǎn)企業(yè)：主要包括晶體二極管、三極管，整流二極管，功率二極管、化合物二極管等生產(chǎn)制造企業(yè)。

? 光電組件生產(chǎn)企業(yè)：包括LED、OLED、LCD、光伏太陽能等的生產(chǎn)制造企業(yè)。

由于半導(dǎo)體工藝對操作室清潔度要求通常使用風(fēng)機(jī)抽取工藝過程中揮發(fā)的各類廢氣，因此半導(dǎo)體行業(yè)廢氣排放具有排氣量大、排放濃度小的特點(diǎn)。廢氣排放也以揮發(fā)為主。

與半導(dǎo)體制造工藝相比，半導(dǎo)體封裝工藝產(chǎn)生的廢氣較為簡單，主要是酸性氣體、環(huán)氧樹脂及粉塵。酸性廢氣主要產(chǎn)生于電鍍等工藝；烘烤廢氣則產(chǎn)生于晶粒粘貼、封膠后烘烤過程；劃片機(jī)在晶片切割過程中，產(chǎn)生含微量矽塵的廢氣。