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長(zhǎng)沙沛鈺進(jìn)出口貿(mào)易有限公司


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小型滑動(dòng)PECVD管式爐系統(tǒng)

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產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所  在  地

聯(lián)系方式：許進(jìn)朝查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間：2024-09-28 10:58:44瀏覽次數(shù)：82次

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經(jīng)營(yíng)模式：經(jīng)銷商

商鋪產(chǎn)品：489條

所在地區(qū)：湖南長(zhǎng)沙市

聯(lián)系人：許進(jìn)朝 （銷售經(jīng)理）

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

型號(hào)：OTF-1200X-50S-PE-SL產(chǎn)品概述：OTF-1200X-50-PE-SL是一款小型滑動(dòng)開啟式PECVD系統(tǒng)

詳細(xì)介紹

型號(hào)：OTF-1200X-50S-PE-SL

產(chǎn)品概述：OTF-1200X-50-PE-SL是一款小型滑動(dòng)開啟式PECVD系統(tǒng)。此套設(shè)備配有等離子射頻電源，直徑為50mm的開啟式管式爐（帶有真空法蘭和連接管道）及機(jī)械泵組成。該設(shè)備模型可更新為不同類型的PECVD 系統(tǒng)，且設(shè)備性價(jià)比較為理想。

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技術(shù)參數(shù)實(shí)驗(yàn)案例警示/應(yīng)用提示配件詳情
設(shè)備名稱

小型滑動(dòng)PECVD管式爐系統(tǒng)—OTF-1200X-50S-PE-SL 

產(chǎn)品提示

1、多種配件可選提示   2、特殊設(shè)備尺寸設(shè)備   3、科晶實(shí)驗(yàn)室邀請(qǐng)?zhí)崾?/strong>   4、配件妥善保管提示

產(chǎn)品特點(diǎn)

? 射頻電源可實(shí)現(xiàn)等離子增強(qiáng)從而顯著降低實(shí)驗(yàn)溫度；

? 可通過(guò)爐體滑動(dòng)達(dá)到快速升溫和降溫；

? 可通過(guò)射頻電源的頻率來(lái)控制薄膜的應(yīng)力；

? 可通過(guò)工藝調(diào)節(jié)來(lái)控制化學(xué)計(jì)量；

? 可沉積各種材料，如SiOx, SiNx, SiOxNy 和(a-Si:H) 等。

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加熱爐參數(shù)

? 溫度：1100℃（<30min）；連續(xù)工作溫度：1000℃；

? PID溫度控制器及30段可編程溫控系統(tǒng)，控溫精度：±1℃；

? 輸入電源：208- 240V AC，功率：1.2KW；

? 爐膛保溫材料采用高純氧化鋁多晶纖維，并且內(nèi)爐膛表面涂有美國(guó)進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層，可以提高加熱效率，反射率及延長(zhǎng)儀器的使用壽命（點(diǎn)擊文字了解涂層的詳細(xì)參數(shù)）。

加熱爐圖片.jpg    溫控儀表.JPG

射頻電源

? 科晶公司現(xiàn)有不同功率的射頻電源可供選擇，以滿足不同實(shí)驗(yàn)條件的需求。



300W射頻電源

500W射頻電源

100W射頻電源

輸出功率

0-300W可調(diào)

（穩(wěn)定性：±1%）

0-500W可調(diào)

（穩(wěn)定性：±1%）

0-100W可調(diào)

（穩(wěn)定性：±1%）

射頻頻率

13.56 MHz

（穩(wěn)定性：±0.5%）

13.56 MHz

（穩(wěn)定性：±0.5%）

13.56 MHz

（穩(wěn)定性：±0.5%）

匹配

自動(dòng)匹配

自動(dòng)匹配

手動(dòng)匹配

噪音

＜50dB

＜50dB

＜50dB

冷卻方式

風(fēng)冷

風(fēng)冷

風(fēng)冷

輸入電壓

AC180-250V

AC108-250V

AC110-240V

圖片

圖片2.jpg 

圖片3.jpg 

圖片4.jpg

真空系統(tǒng)

? 采用TRP-12的雙旋真空泵；

? KF25卡箍及波紋管用于連接管式爐與真空泵；

? 真空度可達(dá)10-2Torr。


圖片5.jpg

供氣系統(tǒng)

? 四通道質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)氣體流量的精確控制（精確度：±0.02%）；

? 流量范圍:


一路

0-100 sccm

二路

0-200 sccm

三路

0-200 sccm

四路

0-500 sccm


? 電壓：208-240V， AC， 50/60Hz；

? 氣體進(jìn)出口配件：6mm OD的聚四氟管或不銹鋼管；

? 不銹鋼針閥用于手動(dòng)控制氣體進(jìn)出；

? PLC觸摸屏可以簡(jiǎn)便地進(jìn)行氣體流量設(shè)置。


圖片6.jpg      圖片7.jpg


產(chǎn)品尺寸和重量

? 尺寸：1500mm L′600mm W′1200mm H

? 凈重：160 kg

? 運(yùn)輸重量：220 kg 

認(rèn)證

? CE認(rèn)證

? 所有電器元件通過(guò) UL / MET / CSA認(rèn)證

? 如您另外付費(fèi)，我們可以保證單臺(tái)儀器的TUV(UL61010)或CSA 認(rèn)證


圖片1.png

承諾

? 一年質(zhì)保期，終身維護(hù)（不包括爐管、硅膠密封圈和加熱元件）


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