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萬榮科信（北京）測控技術有限公司
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MARSURFXC2MITCD120輪廓測量站精密輪廓測量的入門選擇快速、簡單且經濟的2D輪廓測量系統，可滿足精度和評估標準范圍相關的各方面需求一致地提供安全且可靠的結果更換基準元件后可立即對基準元件相關的參數重新計算
MARSURF XC 2 MIT CD 120 輪廓測量站
精密輪廓測量的入門選擇
| 接觸速度（Z 方向） | 0.1 至 1 mm/s |
| 測桿長度 | 175 mm, 350 mm |
| 測量速度 | 0.2 mm/s 至 4 mm/s |
| 針尖半徑 | 25 µm |
| 掃描長度末尾（X 方向） | 120 mm |
| 分辨率 | Z 方向，相對探針針頭：0.38 µm（350 mm 測桿）/ 0.19 µm（175 mm 測桿） 在 Z 方向，相對于測量系統：0.04 µm |
| 掃描長度開始（X 方向） | 0.2 mm |
| 取樣角 | 在平滑表面上，取決于偏差：后緣高至 88°，前緣高至 77° |
| 導塊偏差 | < 1 µm（超過 120 mm） |
| 定位速度 | X 方向返回速度：0.2 至 8 mm/s Z 方向：0.2 至 10 mm/s |
| 測量范圍 mm | （Z 方向）50 mm |
| 掃描長度 | 0.2 mm 至 120 mm |
| 測量力 (N) | 1 mN 至 120 mN |
| MarSurf CD 280 | MarSurf CD 140 | |
| 測桿長度 | 210 mm; 350 mm; 490 mm | 210 mm; 350 mm; 490 mm |
| 測量速度 | 0.02 - 10 mm/s | 0.02 - 10 mm/s |
| 掃描長度末尾（X 方向） | 280 mm | 140 mm |
| 分辨率 | 6 nm（210 mm 測桿） | 6 nm（210 mm 測桿） |
| 掃描長度開始（X 方向） | 0.1 mm | 0.1 mm |
| 導塊偏差 | 0,35 µm / 60 mm 0,4 µm / 140 mm 0,75 µm / 280 mm | 0.35 µm / 60 mm 0.4 µm / 140 mm |
| 定位速度 | 0.02 - 200 mm/s (X) | 0.02 - 200 mm/s (X) |
| 測量范圍 mm | 70 mm（Z 方向，350 mm 測桿） 100 mm（490 mm 測桿） | 70 mm（Z 方向，350 mm 測桿） 100 mm（490 mm 測桿） |
| 測量力 (N) | Z+ 和 Z- 方向 4 mN 至 30 mN，可通過軟件調整 | Z+ 和 Z- 方向 4 mN 至 30 mN，可通過軟件調整 |
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