MEMS傳感器即微機電系統（Microelectro Mechanical Systems），是在微電子技術基礎上發展起來的多學科交叉的前沿研究領域。經過四十多年的發展，已成為世界矚目的重大科技領域之一。它涉及電子、機械、材料、物理學、化學、生物學、醫學等多種學科與技術，具有廣闊的應用前景。截止到2010年，世界有大約600余家單位從事MEMS的研制和生產工作，已研制出包括微型壓力傳感器、加速度傳感器、微噴墨打印頭、數字微鏡顯示器在內的幾百種產品，其中MEMS傳感器占相當大的比例。MEMS傳感器是采用微電子和微機械加工技術制造出來的新型傳感器。與傳統的傳感器相比，它具有體積小、重量輕、成本低、功耗低、可靠性高、適于批量化生產、易于集成和實現智能化的特點。同時，在微米量級的特征尺寸使得它可以完成某些傳統機械傳感器所不能實現的功能。

1.應用于醫療MEMS傳感器應用于無創胎心檢測，檢測胎兒心率是一項技術性很強的工作，由于胎兒心率很快，在每分鐘l20～160次之間，用傳統的聽診器甚至只有放大作用的超聲多普勒儀，用人工計數很難測量準確。而具有數字顯示功能的超聲多普勒胎心監護儀，價格昂貴，僅為少數大醫院使用，在中、小型醫院及廣大的農村地區無法普及。此外，超聲振動波作用于胎兒，會對胎兒產生很大的不利作用。盡管檢測劑量很低，也屬于有損探測范疇，不適于經常性、重復性的檢查及家庭使用。基于VTI公司的MEMS加速度傳感器，提出一種無創胎心檢測方法，研制出一種簡單易學、直觀準確的介于胎心聽診器和多普勒胎兒監護儀之間的臨床診斷和孕婦自檢的醫療輔助儀器。通過加速度傳感器將胎兒心率轉換成模擬電壓信號，經前置放大用的儀器放大器實現差值放大。然后進行濾波等一系列中間信號處理，用A/D轉換器將模擬電壓信號轉換成數字信號。通過光隔離器件輸入到單片機進行分析處理，最后輸出處理結果。基于MEMS加速度傳感器設計的胎兒心率檢測儀在適當改進后能夠以此為終端，做一個遠程胎心監護系統。醫院端的中央信號采集分析監護主機給出自動分析結果，醫生對該結果進行診斷，如果有問題及時通知孕婦到醫院來。該技術有利于孕婦隨時檢查胎兒的狀況，有利于胎兒和孕婦的健康。

日本辻產業 Tsuji 克令吊，液壓件，泵，馬達：

克令吊液壓馬達 A6V500HD6.2FZ-2091-995-1

克令吊液壓泵 A4VG180HDD1/32-NSD02KD11E+GSP2-B1A16AR-A0-753-0

日本辻產業Tsuji 液壓馬達 A6V500HD6.2FZ-2091-995-1

日本辻產業Tsuji 液壓馬達 A4VG180HDD1/32-NSD02KD11E

日本辻產業Tsuji 液壓馬達 GSP2-B1A16AR-A0-753-0

日本辻產業 Tsuji NDVG-06R-14 WITH NLCG-06-11 手動閥

日本辻產業 Tsuji 手動閥 NDVG-06R-14 WITH NLCG-06-11

三石系列液壓馬達：

AMC-30A-M2-31 日本三菱 MITSUBISHI 液壓馬達

AMC-30A-M2 日本三菱 MITSUBISHI 液壓馬達

RMC-210A-L-22Y 日本三菱 MITSUBISHI 液壓馬達

RMC-350A-L-22Y 日本三菱 MITSUBISHI 液壓馬達

RMM-350A 日本三菱 MITSUBISHI 液壓馬達

RMM-210A 日本三菱 MITSUBISHI 液壓馬達

TMC-55A-M 日本三菱 MITSUBISHI 液壓馬達

德國EGON HARIG 火焰探測器 FL/SS7510/35MIL

日本IHI 液壓馬達 HVLG‐DSS

日本IHI 液壓馬達 HVLG‐SS

日本IHI 液壓馬達 HVKG‐DSS

日本IHI 液壓馬達 HVKG‐SS

日本IHI 液壓馬達 HVLP‐SS

日本IHI 液壓馬達 HVLKP‐SS

日本IHI 液壓馬達 HVKKP‐SS

丹佛斯DANFOSS 海水泵 APPW8.2 180B3078

丹佛斯DANFOSS 海水泵 APPW8.2 180B3078

丹佛斯DANFOSS 海水泵 APP1.5 180B3043

丹佛斯DANFOSS 海水泵 APP3.0 180B3030

丹佛斯DANFOSS 海水泵 APP3.5 180B3032

丹佛斯DANFOSS 海水泵 APP0.6 180B3048

丹佛斯DANFOSS 海水泵 APP2.2 180B3045

丹佛斯DANFOSS 海水泵 APP8.2 180B3008

丹佛斯DANFOSS 海水泵 APPW10.2 180B3080

丹佛斯DANFOSS 高壓泵APP10.2 180B3010

丹佛斯DANFOSS PAH 63 180B0040 高壓泵

丹佛斯DANFOSS 高壓泵 PAH63 18OB0017

丹佛斯DANFOSS PAHT 32 180B0021 柱塞泵

丹佛斯DANFOSS 高壓泵 APP1  180B3042

丹佛斯DANFOSS 高壓泵 APP 2.2 180B3045

APP 21-26/18084165 Danfoss 閥板套件

APP21-46 &APPWHC15-30/180B4633 接口法蘭套件

DANFOSS丹佛斯 APP 26/1500 180B3057 海水泵

PAHT 25 180B0020 DANFOSS丹佛斯 海水泵

PAHT 32 180B0021 DANFOSS丹佛斯 海水泵

PAH 70 180B0042 DANFOSS丹佛斯 海水泵 高壓柱塞泵

PAH 80 180B0041

2.應用在汽車電子MEMS壓力傳感器主要應用在測量氣囊壓力、燃油壓力、發動機機油壓力、進氣管道壓力及輪胎壓力。這種傳感器用單晶硅作材料，以采用MEMS技術在材料中間制作成力敏膜片，然后在膜片上擴散雜質形成四只應變電阻，再以惠斯頓電橋方式將應變電阻連接成電路，來獲得高靈敏度。車用MEMS壓力傳感器有電容式、壓阻式、差動變壓器式、聲表面波式等幾種常見的形式。而MEMS加速度計的原理是基于牛頓的經典力學定律，通常由懸掛系統和檢測質量組成，通過微硅質量塊的偏移實現對加速度的檢測，主要用于汽車安全氣囊系統、防滑系統、汽車導航系統和防盜系統等，除了有電容式、壓阻式以外，MEMS加速度計還有壓電式、隧道電流型、諧振式和熱電偶式等形式。其中，電容式MEMS加速度計具有靈敏度高、受溫度影響極小等特點，是MEMS微加速度計中的主流產品。微陀螺儀是一種角速率傳感器，主要用于汽車導航的GPS信號補償和汽車底盤控制系統，主要有振動式、轉子式等幾種。應用最多的屬于振動陀螺儀，它利用單晶硅或多晶硅的振動質量塊在被基座帶動旋轉時產生的哥氏效應來感測角速度。例如汽車在轉彎時，系統通過陀螺儀測量角速度來指示方向盤的轉動是否到位，主動在內側或者外側車輪上加上適當的制動以防止汽車脫離車道，通常，它與低加速度計一起構成主動控制系統。

EMG LLS 1075 線性光源發射器

ESSV1-10/8/315/6 糾編伺服閥

SV1-10/16/315/8 伺服閥

EMG光電式測量傳感器 EVM2-CP/1850 71/L/R

EMG高頻光源發射器 LLS875/01

EMG數字式控制器 ICON SE+VS/AE1054

EMG適配器 EVB03.01

EMG對中光源發射器LID2-800.2C

EMG KLW300-012

EMG CPC LS14.02

EMG KLW 360.012

EMG EPC EVM2-CP/1300.71/L/R

EMG EPC CCDPro 5000

EMG CPC LS13.01

EMG電動缸LLS 675/02

EMG 伺服閥 SV1-10/32/315-6

EMG 伺服閥 SV1-10/16/315/6    

EMG 伺服閥 SV1-10/8/315/6    

EMG 伺服閥 SV1-10/48/315/6  

EMG 伺服閥 SV1-10/8/120/6    

EMG 伺服閥 SV1-10/16/120/6  

EMG 伺服閥 SV1-10/8/315/6

EMG 伺服閥 SV1-10/16/120/6

EMG 伺服閥 SV1-10/48/315-6

EMG 伺服閥 SV1-10/16/315-6

EMG 伺服閥 SV1-10/8/100-6

從以上的介紹可以看出，僅僅在生物醫學方面，物理傳感器就有著多種多樣的應用。傳感器的發展方向是多功能、有圖像的、有智能的傳感器。傳感器測量作為數據獲得的重要手段，是工業生產乃至家庭生活所 不可少的器件，而物理傳感器又是最普通的傳感器家族，靈活運用物理傳感器必然能夠創造出更多的產品，更好的效益。

它們的轉換原理(傳感器工作的基本物理或化學效應)；它們的用途；它們的輸出信號類型以及制作它們的材料和工藝等。根據傳感器工作原理，可分為物理傳感器和化學傳感器二大類：傳感器工作原理的分類物理傳感器應用的是物理效應，諸如壓電效應，磁致伸縮現象，離化、極化、熱電、光電、磁電等效應。被測信號量的微小變化都將轉換成電信號。化學傳感器包括那些以化學吸附、電化學反應等現象為因果關系的傳感器，被測信號量的微小變化也將轉換成電信號。有些傳感器既不能劃分到物理類，也不能劃分為化學類。大多數傳感器是以物理原理為基礎運作的。化學傳感器技術問題較多，例如可靠性問題，規模生產的可能性，價格問題等，解決了這類難題，化學傳感器的應用將會有巨大增長。常見傳感器的應用領域和工作原理列于下表。

EMG 傳感器 KLW 300.012

EMG 傳感器 KLW 150.012

EMG 傳感器 KLW 225.012

EMG 傳感器 KLW 360.012

EMG 傳感器 KLW150.012

EMG 傳感器 KLW225.012

EMG 傳感器 KLW300.012

EMG 傳感器 KLW450.012

EMG 傳感器 KLW600.012

SV1-10/8/315/6 伺服閥 EMG

SV1-10/48/315/6伺服閥 EMG

SV1-10/32/100/6 伺服閥 EMG

SV1-10/8/120/6 伺服閥 EMG

SV1-10/4/120/6 伺服閥 EMG

SV2-16/125/315/1/1/01伺服閥EMG

HFE400/10H濾芯EMG

KLM300/012位移傳感器EMG

LLS675/02 LICHTBAND對中整流器EMG

3.應用于運動追蹤系統在運動員的日常訓練中，MEMS傳感器可以用來進行3D人體運動測量，對每一個動作進行記錄，教練們對結果分析，反復比較，以便提高運動員的成績。隨著MEMS技術的進一步發展，MEMS傳感器的價格也會隨著降低，這在大眾健身房中也可以廣泛應用。在滑雪方面，3D運動追蹤中的壓力傳感器、加速度傳感器、陀螺儀以及GPS可以讓使用者獲得極精確的觀察能力，除了可提供滑雪板的移動數據外，還可以記錄使用者的位置和距離。在沖浪方面也是如此，安裝在沖浪板上的3D運動追蹤，可以記錄海浪高度、速度、沖浪時間、漿板距離、水溫以及消耗的熱量等信息。