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武漢珺瑜測控技術有限公司
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?原產國：比利時?整體長度2.4m?行程1000mm?水平直線度±0.4um?垂直直線度±0.4um?最小運動量0.1um?俯仰±2urad?翻滾±3urad?搖擺±3urad
這個定制開發的XXZ?-motion系統長2.4米，包含兩個水平氣浮工作臺，每個工作臺的行程為1米。它們都在同一個花崗巖底座上運行，保證了的排列。在一個水平氣浮臺上，建立一個垂直氣浮臺，容納一個標準的RT150S空氣軸承旋轉臺。所有軸都可以用我們的運動控制器或商用控制器驅動和同步。
主要特點
? 行程 1000 mm
? 亞微米精度的高動態平面空氣軸承
? 花崗巖龍門架，精度
? 線性編碼器
的解決方案
? 高性能掃描
? 光學檢測系統
? 超精密磨削和銑削
? 光伏系統
? 醫療系統
? X-射線
? 激光加工
? 半導體行業
? 晶圓處理
產品規格
定制設計和工程支持
我們提供一系列標準產品，但其他尺寸或其他應用也是可能的。我們可以靈活地設計XY平臺，門架，Z平臺或其組合。歡迎聯系我們獲取定制解決方案！
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