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濟南創譜儀器有限公司
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產品簡介 ：基本參數說明：1.臺面為鋁合金（因為鋁合金導熱性好），尺寸為4英寸/6英寸，平面度5μ
基本參數說明：
1.臺面為鋁合金（因為鋁合金導熱性好），尺寸為4英寸/6英寸，平面度5μm
2. 4英寸的帶3個真空吸附孔，6英寸的帶4個真空吸附孔
3.無油氣泵，7L/分鐘，可以連續工作
4.可以通水或氣體循環冷卻
5.含加熱功能，搭配日本島電儀表溫控臺，加熱溫度300攝氏度，控溫精度±1°，有效區域內溫度均衡性±5°
6.可以選配制冷功能，溫度﹣130攝氏度（真空環境下）
7.具備快速冷功能，配置水冷卻接口，可連接水冷機實現快速降溫功能！
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