非接觸Hall測試是一種利用微波原理來測試外延片載流子遷移率的測試方法，該方法在測試時利用微波源發射微波通過波導將微波傳輸至測試樣品表面，在磁場作用下具有不同遷移率的樣品對微波的反射效果不同，通過探測反射的微波功率再將其轉化為對應的電導張量，從而建立模型可以計算出HEMT結構的載流子濃度和遷移率。具體是設備通過微波發生器產生10 GHz的微波，入射樣品表面的TE10模的微波，會從測試樣品表面處產生兩種模式的反射波，一種是和入射波相同模式和極化的TE10反射波，通過探測反射回來的TE10波的功率，通過計算可得測試樣品的方塊電阻；另外一種反射波是TE11模的波，它是TE10波到達樣品表面時，由于樣品在磁場作用下的霍爾效應將TE10模旋轉90°以TE11模的波返回，通過探測此TE11模微波的功率，通過計算可得出測試樣品的載流子遷移率。

該系統使用一個工作在10 GHz的低功率微波源，耦合到一個波導網絡，以便將功率引導到被測樣品的表面。波導網絡的設計是這樣允許檢測和測量TE10和TE11的傳播模式。

正常的TE10入射波用于產生從被測樣品中返回的兩種反射波。第one波，即反射功率，從樣本中返回的反射功率，與入射波處于相同的模式或偏振狀態。該反射波的功率被檢測、測量，并根據波導系統的總阻抗來計算樣品片電阻

樣品返回的第二波是由樣品在磁場影響下的“霍爾效應"引起的TE11模式。正常的TE10入射波通過這種效應旋轉90度，這個功率，即霍爾功率，由系統檢測和測量，并用于計算遷移率和載流板密度的剩余輸運特性，HALL測試示意圖如圖2-1所示。

其他推薦產品更多>>