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XYZ光纖耦合平臺

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更新時間:2025-03-18 12:42:16瀏覽次數(shù):108次

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產(chǎn)品簡介

XYZ均采用直線電機及高精度交叉滾柱導(dǎo)軌XYZ內(nèi)置高精度絕dui值光柵尺,1nm光柵分辨率,重復(fù)定位精度≤±100nm,絕dui定位精度(位置誤差補償后)≤±350nm;配套專用高精度控制器,實現(xiàn)靜態(tài)抖動(jitter)值≤±25nm,讓耦合更穩(wěn)定;高速尋光,每軸速度≥350mm/s,加速度≥1g,讓找光、尋光更快,效率更高

詳細介紹

XYZ均采用直線電機及高精度交叉滾柱導(dǎo)軌 XYZ內(nèi)置高精度絕dui值光柵尺,1nm光柵分辨率,重復(fù)定位精度≤±100nm,絕dui定位精度(位置誤差補償后)≤±350nm; 配套專用高精度控制器,實現(xiàn)靜態(tài)抖動(jitter)值≤±25nm,讓耦合更穩(wěn)定; 高速尋光,每軸速度≥350mm/s,加速度≥1g,讓找光、尋光更快,效率更高。


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