擴散泵抽氣系統可以適當地裝備一些傳感器，當萬一出現操作失誤或系統有漏孔、冷卻不善及擴散泵泵液不足時，這些傳感器可發出信號將系統關掉或使系統處于安全狀態。真空系統中的氣動閥和電磁閥應能在設備發生故障時立即動作，使系統處于安全狀態下。在壓縮空氣或電源發生故障時，要關閉除粗抽泵的放氣閥以外的所有閥門。粗抽泵放氣閥則應打開，以防止機械泵油返流進入粗抽管道。在擴散泵冷卻水管的出口（而不是入口）處可裝*量計。借助于流量計的信號，系統控制器就可切斷擴散泵的電源，并關閉高真空閥和前級管道閥。在擴散泵冷卻水管的入口處采用一個水過濾器以防積垢堵塞水管，并可免除過早的檢修。可用裝在擴散泵泵殼外面的恒溫開關和裝在鍋爐上的熱敏開關來檢測泵壁和泵油的工作溫度，還可以對泵工作液的液面進行監測。熱偶規或皮拉尼規控制器上的設定值是在真空室出現漏孔時給出自動控制器信號的，以便由它來關閉高真空閥，并在前級出現過高的前級壓力時斷開擴散泵電源。許多液氮裝置裝有低液面報警的傳感器，當致冷劑耗盡時關閉高真空閥門。
由于擴散泵沒有運轉部件，故維修較簡單。一般泵使用500h后應當換一次新油。換油時則同時進行維修，維修也就是*清洗泵芯，泵體，清除油鍋上的結垢，用壓縮空氣吹去冷卻水管中的銹。加熱器如果是一般的裸式電爐，則用500h后就要更換一次，如果是封閉式加熱器則壽命可大大延長，不必定期更換直到用壞再換。
擴散泵一般采用KSl～KS3號擴散泵油，正常使用約半年換一次油。為降低返油率可采用274～275號硅油，正常工況下，約使用2～3年換一次油。擴散泵裝配與調整正確與否，會直接影響泵的性能。泵裝配前各零件要清洗好并保持清潔。裝配前零件必須*烘干，裝配時不應用手直接摸泵芯，泵芯裝配必須正確，不得向任何一邊偏斜，裝配后要測量噴嘴與泵壁之間的間距。加油時要事先在外邊測量好油量，不要邊倒邊看深度，以保證油量符合規定。
裝配好要測量擴散泵的極限真空度是否達到泵原指標，測量方法按有關國家標準進行，達到泵原真空度指標時才能交付使用
