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SCI-552臭氧控制器技術參數表

時間:2023/12/5閱讀:162
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SCI-552是臭氧輸送系統的控制器,能夠為很多系統部件提供電氣控制界面,包括:臭氧發生器、EV閥、質量流量計、背壓控制器、TAPI 452臭氧傳感器、 TAPI 470 溶解臭氧傳感器和水冷卻器。

SCI-552基于軟硬件特點,提供了很多系統聯鎖功能,它靈活性高,允許用戶通過前面板用戶界面、MODBUS串行接口或各種離散型數字和模擬輸入來控制整個系統。SCI-552能夠支持兩臺臭氧發生器并提供兩條獨立的臭氧輸出渠道。

特點
  • RS-232 MODBUS遠程支持

  • 可以控制兩臺臭氧發生器

  • 可以控制兩臺452和470臭氧傳感器

  • 交互

  • 可以控制四臺質量流量計

  • 可以控制兩臺背壓控制器

  • 可以控制兩個EV閥

  • 可以控制一臺水冷卻器

  • 系統聯鎖輸入

  • 遠程系統級別控制和狀態輸入/輸出

運用


  • 化學氣相沉積(CVD)

  • 原子層沉積(ALD)

  • 氧化物生長

  • 表面處理

  • 灰化

  • 粒子清潔

  • 光刻膠去除

  • 其他

規格

顯示:2 行 x 40 字母、數字、真空熒光
分辨率:0.01% w/w
周期:不間斷測量,每2秒或0.5 Hz刷新
數字I/O: RS-232 C, 雙向
裝置I/O 發生器支持:能夠支持兩臺臭氧發生器,工業標準引出線
質量流量計控制: 4 - DB-9 連接體,支持四臺質量流量計
背壓控制器:2 - DB-15 連接體,支持兩臺電子背壓調節器
臭氧發生器: 2 - 10 針IDC,支持兩臺臭氧發生器
EV閥: 2 - 2 針連接體 - 24 VDC
冷卻器:1 - DB-15 冷卻器連接體
客戶系統I/O聯鎖:1- 系統硬件聯鎖
                           1 - 通訊聯鎖
                           (可用戶配置)1 - 軟件聯鎖 (背壓)
串行數字:RE-232, DB-25 (Modbus標準 -可選其他選項)
AC電源: 90到240VAC, 50/60 Hz
典型功率: 低于225 W
尺寸 (寬 x 高 x 長):19" x 7" x 9"
                              (48 cm x 17.8 cm x 22.86 cm)
重量:10.9 磅 (4.94 千克)
環境:只為室內應用而設計
運行溫度:5 - 35?C
相對濕度:80%, 無冷凝
保修:1 年
認證:CE


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