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SCI-552是臭氧輸送系統的控制器,能夠為很多系統部件提供電氣控制界面,包括:臭氧發生器、EV閥、質量流量計、背壓控制器、TAPI 452臭氧傳感器、 TAPI 470 溶解臭氧傳感器和水冷卻器。
RS-232 MODBUS遠程支持
可以控制兩臺臭氧發生器
可以控制兩臺452和470臭氧傳感器
交互
可以控制四臺質量流量計
可以控制兩臺背壓控制器
可以控制兩個EV閥
可以控制一臺水冷卻器
系統聯鎖輸入
遠程系統級別控制和狀態輸入/輸出
化學氣相沉積(CVD)
原子層沉積(ALD)
氧化物生長
表面處理
灰化
粒子清潔
光刻膠去除
其他
規格
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