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北京萬(wàn)聚恒鑫科技有限公司
初級(jí)會(huì)員 | 第12年

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溫濕度測(cè)量?jī)x
數(shù)顯酸度計(jì)
電導(dǎo)率儀
環(huán)境監(jiān)測(cè)儀
熱指數(shù)監(jiān)測(cè)儀 電子皂膜流量計(jì) 鹵素檢漏儀 土壤養(yǎng)分檢測(cè)儀 電磁輻射測(cè)試儀 動(dòng)態(tài)氣體發(fā)生器 測(cè)振儀器 防護(hù) 氣體流向檢測(cè)儀 粉塵檢測(cè)儀 土壤粉碎機(jī) 地下管線探測(cè)儀 細(xì)菌總數(shù)檢測(cè) 多功能輻射測(cè)量系統(tǒng) 鐵素體檢測(cè)儀 手動(dòng)氣體采樣泵 全自動(dòng)過濾材料測(cè)試儀 個(gè)人劑量計(jì) 低本底總α,總β測(cè)量?jī)x 同位素識(shí)別儀 伽馬活度計(jì) 電纜管道探測(cè)儀 壓縮空氣質(zhì)量檢測(cè)儀 數(shù)字功率表 高斯計(jì) 采樣泵 漏風(fēng)儀 表面沾污儀 空氣微生物采樣器 空氣質(zhì)量檢測(cè)儀 粉塵 氣溶膠 粒子計(jì)數(shù)器 顆粒分析儀 校準(zhǔn)儀 環(huán)境監(jiān)測(cè)儀采樣泵
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干燥箱(烘箱)
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呼吸防護(hù)產(chǎn)品
輻射測(cè)量?jī)x器
水質(zhì)監(jiān)測(cè)儀
熱像儀
其他
氣體分析儀

SCI-552臭氧控制器技術(shù)參數(shù)表

時(shí)間:2023/12/5閱讀:160
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SCI-552是臭氧輸送系統(tǒng)的控制器,能夠?yàn)楹芏嘞到y(tǒng)部件提供電氣控制界面,包括:臭氧發(fā)生器、EV閥、質(zhì)量流量計(jì)、背壓控制器、TAPI 452臭氧傳感器、 TAPI 470 溶解臭氧傳感器和水冷卻器。

SCI-552基于軟硬件特點(diǎn),提供了很多系統(tǒng)聯(lián)鎖功能,它靈活性高,允許用戶通過前面板用戶界面、MODBUS串行接口或各種離散型數(shù)字和模擬輸入來控制整個(gè)系統(tǒng)。SCI-552能夠支持兩臺(tái)臭氧發(fā)生器并提供兩條獨(dú)立的臭氧輸出渠道。

特點(diǎn)
  • RS-232 MODBUS遠(yuǎn)程支持

  • 可以控制兩臺(tái)臭氧發(fā)生器

  • 可以控制兩臺(tái)452和470臭氧傳感器

  • 交互

  • 可以控制四臺(tái)質(zhì)量流量計(jì)

  • 可以控制兩臺(tái)背壓控制器

  • 可以控制兩個(gè)EV閥

  • 可以控制一臺(tái)水冷卻器

  • 系統(tǒng)聯(lián)鎖輸入

  • 遠(yuǎn)程系統(tǒng)級(jí)別控制和狀態(tài)輸入/輸出

運(yùn)用


  • 化學(xué)氣相沉積(CVD)

  • 原子層沉積(ALD)

  • 氧化物生長(zhǎng)

  • 表面處理

  • 灰化

  • 粒子清潔

  • 光刻膠去除

  • 其他

規(guī)格

顯示:2 行 x 40 字母、數(shù)字、真空熒光
分辨率:0.01% w/w
周期:不間斷測(cè)量,每2秒或0.5 Hz刷新
數(shù)字I/O: RS-232 C, 雙向
裝置I/O 發(fā)生器支持:能夠支持兩臺(tái)臭氧發(fā)生器,工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)引出線
質(zhì)量流量計(jì)控制: 4 - DB-9 連接體,支持四臺(tái)質(zhì)量流量計(jì)
背壓控制器:2 - DB-15 連接體,支持兩臺(tái)電子背壓調(diào)節(jié)器
臭氧發(fā)生器: 2 - 10 針I(yè)DC,支持兩臺(tái)臭氧發(fā)生器
EV閥: 2 - 2 針連接體 - 24 VDC
冷卻器:1 - DB-15 冷卻器連接體
客戶系統(tǒng)I/O聯(lián)鎖:1- 系統(tǒng)硬件聯(lián)鎖
                           1 - 通訊聯(lián)鎖
                           (可用戶配置)1 - 軟件聯(lián)鎖 (背壓)
串行數(shù)字:RE-232, DB-25 (Modbus標(biāo)準(zhǔn) -可選其他選項(xiàng))
AC電源: 90到240VAC, 50/60 Hz
典型功率: 低于225 W
尺寸 (寬 x 高 x 長(zhǎng)):19" x 7" x 9"
                              (48 cm x 17.8 cm x 22.86 cm)
重量:10.9 磅 (4.94 千克)
環(huán)境:只為室內(nèi)應(yīng)用而設(shè)計(jì)
運(yùn)行溫度:5 - 35?C
相對(duì)濕度:80%, 無冷凝
保修:1 年
認(rèn)證:CE


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